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Nのタイプ、GaSbの水晶ウエファーの基質、3"、Epi準備ができた主な等級
LEC (液体の内部に閉じ込められたCzochralski)によって別のオリエンテーション(111)のnのタイプ、pのタイプまたはundopedのepi準備ができたか機械等級としてまたは育つPAM-XIAMENはGaSbのウエファー–ガリウム アンチモン化物--を提供する(100)。ガリウム アンチモン化物(GaSb)は要素ガリウム(Ga)およびアンチモン(Sb)からなされる結晶の混合物である。
3" GaSbのウエファーの指定
項目 | 指定 |
伝導のタイプ | Nタイプ |
添加物 | テルル |
ウエファーの直径 | 3" |
ウエファーのオリエンテーション | (100) ±0.5° |
ウエファーの厚さ | 600±25um |
第一次平らな長さ | 22±2mm |
二次平らな長さ | 11±1mm |
キャリア集中 | (1-20) x1017cm-3 |
移動性 | 2000-3500cm2/V.s |
EPD | <2x103cm-2 |
TTV | <12um |
弓 | <12um |
ゆがみ | <15um |
レーザーの印が付いていること | 要望に応じて |
Sufaceの終わり | 、P/P P/E |
準備ができたEpi | はい |
パッケージ | 単一のウエファー容器かカセット |
GaSbのウエファーのバンド構造およびキャリア集中は基本的な変数、移動性およびホール効果の高い電界の輸送特性を含んでいる
、衝撃イオン化、組み変え変数
基本的な変数
故障分野 | ≈5·104 |
移動性の電子 | ≤ V-1 3000のcm2のs-1 |
移動性の穴 | ≤ V-1 1000のcm2のs-1 |
拡散係数の電子 | ≤ 75 cm2/s |
拡散係数の穴 | ≤ 25 cm2/s |
電子熱速度 | 5.8·105 m/s |
穴の熱速度 | 2.1·105 m/s |
![]() | 電子ホール移動性対異なった添加のレベルのための温度。 1. Nd= 1.7·1018 cm3 2. Nd= 2.8·1017 cm3 壊されたカーブは実験データを表す。連続的なカーブは理論的な計算を表す。 |
![]() | 電子ホール移動性対電子集中NO T=77 K。 開いた円は同じ残りのアクセプター集中Naをおよそ持っているサンプルのグループと測定を表す。完全な記号:より低い残りのアクセプター集中の標本。実線は償いのアクセプター密度の異なった価値のための理論的な計算を-単独で(Na-)または二倍に表す(Na--)イオン化される。 1. Na- = 1.2·1017またはNa--= 0.4·1017 cm3 2. Na- =2.85·1017またはNa--=0.95·1017 cm3 3. Na- = 4.5·1017またはNa--= 1.5·1017 cm3 |
![]() | 穴のホール移動性対異なった補償のレベルの温度。 1. Na= 1.39·1017 cm3;Nd= 9·1015 cm3; 2. Na= 1.3·1017 cm3;Nd= 9.5·1016 cm3; 3. Na= 1.1·1017cm-3;Nd= 9.5·1016 cm3 |
![]() | 穴のホール移動性の温度の依存。 MBEの技術。300 Kの穴集中: 1. - 2.28·1016 cm3; 2. - 1.9·1019 cm3。 |
![]() | 穴のホール移動性対穴集中、300 K。 実験データは5枚のペーパーから取られる |
![]() | 電子漂流速度の計算された分野の依存、300 K。 |
![]() | 計算された(固体)終わりの実験(ポイント)電流密度の依存対電界、300 K。 |
![]() | Γ、Lの電子の一部分、X電界の機能として谷、300 K n=6.8·1016 cm3 |
![]() | 電界の機能として電子温度、T=77 K。 完全な、開いた円-実験データ カーブは計算される |
![]() | αiそしてβi>の依存対1/F.T=77 K 開いた記号:F (111)。 満たされた記号:F (100)。 |
![]() | αiそしてβiの依存対1/F)。T=300 K F (100)。 |
![]() | 放射寿命対供給の集中、T =77 K、GaSb (Te)。 実験データからこれらの依存を得るためには内部量子効率のηの価値は取られた: 開いた円η=0.8; 満たされた円η=1; |
![]() | 非放射寿命対供給の集中、T =77K、GaSb (Te)。 開いた円のη= 0.8; 満たされた円のη= 1;(Agaev等[1984年])。 |
![]() | 電子放射の(三角形)および非放射(正方形の)寿命対アクセプター集中、p-GaSb、T=77 K。 |
![]() | 電子寿命対異なったアクセプター集中の温度。 Na (cm3):1. 5·1018;2. 2.2·1019;3. 3.5·1019。 |
放射組み変え係数 | ~10-10 cm3 s-1 |
オーガー係数 | |
77K | 2·10-29 cm6s-1 |
300 K | 5·10-30 cm6s-1 |
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