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インゴットから、エピタクシーへの基質は、各プロセス監視されます。
測定操作は（epiのウエファーのために）点検ウエファーの測定および生産のウエファーの測定を含んでいます。点検ウエファーのために、私達は主に装置の安定性をテストします、またはウエファーの構造を調節するために、質の点検はまたはバッチ毎日行なわれます;表面の粒子、波長、抵抗、キャリア移動度およびホールは顕微鏡の下で、その後で、遂行します目視検差を測定され、それから私達は100クリーン ルーム以下それらを詰めました。