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GaSbのUndopedウエファー、2"、ようにカットのウエファー、機械ウエファー、または磨かれたウエファー
LEC (液体の内部に閉じ込められたCzochralski)によって別のオリエンテーション(111)のnのタイプ、pのタイプまたはsemi-insulatingのepi準備ができたか機械等級としてまたは育つPAM-XIAMENはGaSbのウエファー–ガリウム アンチモン化物--を提供する(100)。
ガリウム アンチモン化物(GaSb)はIII-V家族のガリウムそしてアンチモンの半導体混合物である。それに約0.61 nmの格子定数がある。GaSbは赤外線探知器に、赤外線LEDsおよびレーザーおよびトランジスターおよびthermophotovoltaicシステム使用することができる。
2" GaSbのウエファーの指定
項目 | 指定 |
添加物 | Undoped |
伝導のタイプ | Pタイプ |
ウエファーの直径 | 2" |
ウエファーのオリエンテーション | (100) ±0.5° |
ウエファーの厚さ | 500±25um |
第一次平らな長さ | 16±2mm |
二次平らな長さ | 8±1mm |
キャリア集中 | (1-2) x1017cm-3 |
移動性 | 600-700cm2/V.s |
EPD | <2x103cm-2 |
TTV | <10um |
弓 | <10um |
ゆがみ | <12um |
レーザーの印 | 要望に応じて |
Sufaceの終わり | 、P/P P/E |
準備ができたEpi | はい |
パッケージ | 単一のウエファー容器かカセット |
GaSbのウエファーのバンド構造およびキャリア集中は流体静力学圧力へのエネルギー ギャップの基本的な変数、温度、依存、依存、有効質量、提供者およびアクセプターを含んでいる
基本的な変数
エネルギー ギャップ | 0.726のeV |
ΓとL谷間のエネルギー分離(EΓL) | 0.084のeV |
ΓおよびXの谷間のエネルギー分離(EΓX) | 0.31のeV |
エネルギー回転軌道分裂 | 0.80のeV |
本質的なキャリア集中 | 1.5·1012 cm3 |
本質的な抵抗 | 103 Ω·cm |
州の有効な伝導帯密度 | 2.1·1017 cm3 |
州の有効な原子価バンド密度 | 1.8·1019 cm3 |
![]() | GaSbのバンド構造およびキャリア集中。300 K 例えば= 0.726のeV EL = 0.81のeV 前の= 1.03のeV Eso = 0.8のeV |
例えば= 0.813 - 3.78·10-4·T2 (T+94) (eV)、
Tが程度K (0 < T < 300)の温度であるところ。
EL = 0.902 - 3.97·10-4·T2 (T+94) (eV)
前の= 1.142 - 4.75·10-4·T2 (T+94) (eV)
NC = 4.0·1013·T3/2 (cm3)
NC = 4.0·1013·T3/2 (cm3)
Nv = 3.5·1015·T3/2 (cm3)
![]() | 本質的なキャリア集中の温度の依存。 |
例えば=例えば(0) + 14.5·10-3P (eV)
EL = EL (0) + 5.0·10-3P (eV)
前=前の(0) - 1.5·10-3P (eV)、
Pがkbarの圧力であるところ。
![]() | 密度を添加するアクセプターのアクセプター対狭くなるエネルギー ギャップ。 カーブはp-GaSbのためにに従って計算される ポイントは実験結果を示す |
例えば= 13.6·10-9·Nd1/3 + 1.66·10-7·Nd1/4 + 119·10-12·Nd1/2 (eV)
例えば= 8.07·10-9·Na1/3 + 2.80·10-7·Na1/4+ 4.12·10-12·Na1/2 (eV)
Γ谷のため | mΓ = 0.041mo |
L-谷で等しいエネルギーの表面は楕円体である | |
ml= 0.95mo | |
mt= 0.11mo | |
州の密度の有効質量 | |
mL= 16 (mlmt2) 1/3= 0.57mo | |
X-の谷で等しいエネルギーの表面は楕円体である | |
ml= 1.51mo | |
mt= 0.22mo | |
州の密度の有効質量 | |
mX= 9 (mlmt2) 1/3= 0.87mo |
重い | mh = 0.4mo |
ライト | mlp = 0.05mo |
割れ目バンド | mso = 0.14mo |
州の密度の有効質量 | mv = 0.8mo |
伝導性の密度の有効質量 | mvc = 0.3mo |
![]() | IVグループの供給の州の図表 |
Te (L) | Te (X) | Se (L) | Se (X) | S (L) | S (X) |
~0.02 | ≤0.08 | ~0.05 | ~0.23 | ~0.15 | ~0.30 |
典型的な供給の集中Nd≥ 1017 cm3のためにΓ谷と接続された浅い供給の州は現われなかった。
undoped GaSbの支配的なアクセプターは原産の欠陥のようである。
このアクセプターは二倍にイオン化可能である
Ea1 | Ea2 | Si | GE | Zn |
0.03 | 0.1 | ~0.01 | ~0.009 | ~0.037 |
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