マグネトロンスプッタリングは,タンタル,チタン,ウルフスタンなどの耐火性金属を堆積するために広く使用されています,ナイオビウム,非常に高温の堆積を必要とする金や銀は,溶融点が低い銅,アルミニウム,ニッケル,クロムなどの金属の堆積にも使用されます. タンタルは電子機器で最もよく使用されています産業侵食...

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スプッターによる堆積物スプッター堆積薄膜堆積物

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