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Pは、InAsのウエファー、2"、テスト等級タイプします
LEC (液体によって内部に閉じ込められるCzochralski)またはVGF (縦の勾配の氷結)によって別のオリエンテーション(111)のnのタイプ、pのタイプまたはundopedのepi準備ができたか機械等級として育つPAM-XIAMENはInAsのウエファー–インジウムのヒ化物--を、(100)または提供します(110)。PAM-XIAMENはあなたのMOCVD及びMBEのエピタキシアル適用にepiの準備ができた等級のInAsのウエファーを提供できます。より多くのウエファー情報のための私達のエンジニアのチームに連絡して下さい。
2" InAsのウエファーの指定
| 項目 | 指定 |
| 添加物 | 亜鉛 |
| 伝導のタイプ | Pタイプ |
| ウエファーの直径 | 2" |
| ウエファーのオリエンテーション | (100) ±0.5° |
| ウエファーの厚さ | 500±25um |
| 第一次平らな長さ | 16±2mm |
| 二次平らな長さ | 8±1mm |
| キャリア集中 | (1-10) x1017cm-3 |
| 移動性 | 100-400cm2/V.s |
| EPD | <3x104cm-2 |
| TTV | <10um |
| 弓 | <10um |
| ゆがみ | <12um |
| レーザーの印 | 要望に応じて |
| Sufaceの終わり | 、P/P P/E |
| 準備ができたEpi | はい |
| パッケージ | 単一のウエファー容器かカセット |
InAsプロセスは何ですか。
InAsのウエファーは装置製作前に準備されなければなりません。始まるためには、それらはスライス プロセスの間に起こるかもしれない損傷を取除くように完全にきれいにならなければなりません。ウエファーはそれから最終的で物質的な取り外しの段階のための化学的に機械的に(CMP)磨かれましたり/Plaranrized。これは原子スケールの残りの荒さの超平らで鏡のような表面の達成を可能にします。後それは、ウエファー製作の準備ができています完了します。
| エネルギー ギャップ | 0.354のeV |
| ΓとL谷間のエネルギー分離(EΓL) | 0.73のeV |
| ΓおよびXの谷間のエネルギー分離(EΓX) | 1.02のeV |
| エネルギー回転軌道分裂 | 0.41のeV |
| 本質的なキャリア集中 | 1·1015 cm3 |
| 本質的な抵抗 | 0.16 Ω·cm |
| 州の有効な伝導帯密度 | 8.7·1016 cm3 |
| 州の有効な原子価バンド密度 | 6.6·1018 cm3 |
| InAsのバンド構造およびキャリア集中。 原子価の伝導帯そして最高の重要な最低はバンドが付きます。 例えば= 0.35のeV EL=の1.08のeV EX=の1.37のeV Eso = 0.41のeV |
例えば= 0.415 - 2.76·10-4·T2 (T+83) (eV)、
Tが程度K (0の<T < 300)の温度であるところ。
Nc≈1.68·1013·T3/2 (cm3)。
Nv≈ 1.27·1015·T3/2 (cm3)。
| 本質的なキャリア集中の温度の依存。 | |
| フェルミ レベル対浅い提供者およびアクセプターの異なった集中のための温度。 |
例えば例えば≈ (0) + 4.8·10-3P (eV)
EL≈ EL (0) + 3.2·10-3P (eV)
Pがkbarの圧力であるところ
| 提供者(カーブ1)および対アクセプター(密度を添加するカーブ2)狭くなるエネルギー ギャップ。 カーブは計算された一致です ポイントはn-InAsのための実験結果を示します |
ΔEg = 14.0·10-9·Nd1/3 + 1.97·10-7·Nd1/4 + 57.9·10-12·Nd1/2 (eV)
ΔEg = 8.34·10-9·Na1/3 + 2.91·10-7·Na1/4 + 4.53·10-12·Na1/2 (eV)
電子:
| 電子有効質量対電子集中 |
| Γ谷のため | mΓ = 0.023mo |
| Nonparabolicity: E (1+αE) = h2k2/(2mΓ) | α = 1.4 (eV-1) |
| 州の密度のL谷の有効質量 | mL=0.29mo |
| 州の密度のX谷の有効質量 | mX=0.64mo |
穴:
| 重い | mh = 0.41mo |
| ライト | mlp = 0.026mo |
| 割れ目バンド | mso = 0.16mo |
州の密度の有効質量mv = 0.41mo
≥ 0.001 (eV):Se、S、Te、GE、SiのSn、CU
| Sn | GE | Si | CD | Zn |
| 0.01 | 0.014 | 0.02 | 0.015 | 0.01 |
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