オン軸線6H NのタイプSiC (炭化ケイ素)のウエファー、生産の等級、準備ができたEpi 2"サイズ

Brand Name:PAM-XIAMEN
Minimum Order Quantity:1-10,000pcs
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Xiamen Fujian China
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製品詳細

 

6H NのタイプSiCのウエファー、生産の等級、準備ができたEpi 2"サイズ

PAM-XIAMENは良質の単結晶SiC (炭化ケイ素)のwaferfor電子および光電子工学工業を提供します。SiCのウエファーは高温および高い発電装置塗布のための次世代の半導体のmaterialwithの独特な電気特性そして優秀な熱特性です。SiCのウエファーは直径で2~6インチNタイプ、窒素および半絶縁のタイプ、添加される利用できる4Hおよび6H両方SiC供給する、ことができます。より多くの情報のための私達に連絡して下さい。

 

炭化ケイ素の物質的な特性

 

Polytype単結晶4H単結晶6H
格子変数a=3.076 Åa=3.073 Å
 c=10.053 Åc=15.117 Å
順序の積み重ねABCBABCACB
バンド ギャップ3.26 eV3.03 eV
密度3.21·103 kg/m33.21·103 kg/m3
Therm。拡張係数4-5×10-6/K4-5×10-6/K
屈折の索引= 2.719無し= 2.707無し
 ne = 2.777ne = 2.755
比誘電率9.69.66
熱伝導性490 W/mK490 W/mK
故障の電場2-4·108 V/m2-4·108 V/m
飽和漂流速度2.0·105 m/s2.0·105 m/s
電子移動度800 cm2/V·S400 cm2/V·S
正孔移動度115 cm2/V·S90 cm2/V·S
Mohsの硬度~9~9

 

6H NのタイプSiCのウエファー、生産の等級、準備ができたEpi 2"サイズ

基質の特性S6H-51-N-PWAM-250 S6H-51-N-PWAM-330 S6H-51-N-PWAM-430
記述生産の等級6H SiCの基質
Polytype6H
直径(50.8 ± 0.38) mm
厚さ(250 ± 25) μm (330 ± 25)のμm (430 ± 25)のμm
キャリアのタイプnタイプ
添加物窒素
抵抗(RT)0.02 | 0.1 Ω·cm
表面の粗さ< 0.5 nm (Epi準備ができたSi表面CMP);<1 nm (C-の表面光学光沢)
FWHM<30 arcsec <50のarcsec
Micropipe密度A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2
表面のオリエンテーション
軸線<0001>± 0.5°
軸線を離れて<11-20>± 0.5°の方の3.5°
第一次平らなオリエンテーション{1-100の} ± 5°を平行にして下さい
第一次平らな長さ16.00 ± 1.70 mm
二次平らなオリエンテーションSi表面:90° cw。オリエンテーションの平らな± 5°から
C表面:90° ccw。オリエンテーションの平らな± 5°から
二次平らな長さ8.00 ± 1.70 mm
表面の終わり磨かれるシングルまたはダブルの表面
包装単一のウエファー箱か多ウエファー箱
使用可能な区域≥ 90%
端の排除1つのmm

 

SiCの結晶構造

polytypesと呼ばれるSiCの水晶に多くの異なった結晶構造があります。現在電子工学のために成長するSiCの共通のpolytypesは立方3C SiC、六角形4H SiCおよび6H SiCおよびrhombohedral 15R SiCです。これらのpolytypesはSiCの構造のbiatomの層の積み重ね順序によって特徴付けられます。詳細については、私達のエンジニアのチームを尋ねて下さい。

 

順序の積み重ね:

薄板にされた構造を作ろうと思えば私達は最上層から定義される程度で各層の厚さおよび各層の角度を伝統的に知らなければなりません。

 

Mohsの硬度:

スケールの点では表現される傷付くか、または摩耗への滑らかな表面の抵抗の荒い測定ドイツの鉱物学者がフリードリッヒ・モース(1812)案出する。鉱物のMohsの硬度は表面が知られていたか、または定義された硬度の物質によって傷付くかどうかの観察によって定められます。

 

密度:

材料の多く密度の か密度は単位体積ごとの固まりです。密度のために最も頻繁に使用される記号はρ (小文字のギリシャの手紙のrho)です。数学的に、密度は容積分けられる固まりと定義されます:

 

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オン軸線6H NのタイプSiC (炭化ケイ素)のウエファー、生産の等級、準備ができたEpi 2"サイズ

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