LEDsおよびソリッド ステート照明技術のためのサファイアの基質の2インチUndoped GaN

LEDsおよびソリッド ステート照明技術のためのサファイアの基質の2インチUndoped GaN
PAM-XIAMENの型板プロダクトはガリウム窒化物（GaN）、窒化アルミニウム（AlN）、アルミニウム ガリウム窒化物（AlGaN）およびサファイアの基質で沈殿するインジウム ガリウム窒化物（InGaN）の結晶の層から成っています。PAM-XIAMENの型板プロダクトは費用、収穫および性能の装置を改良できるより高い熱伝導性可能にします、およびよりよい構造質と20-50%より短いエピタクシーのサイクル時間そして良質のエピタキシアル装置層を。
 
サファイアの型板のPAMXIAMEN'sGaNは2"からの直径で利用でき6"まで、サファイアの基質で育つ結晶のGaNの薄層から成っています。利用できるEpi準備ができた型板今。
 
ここに詳細仕様を示します:
2inch Undoped GaN/サファイアの基質

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
2inch Undoped GaN/サファイアの基質
FWHMおよびXRDのレポート
テスト レポートは注文の記述と私達の最終的なウエファー データ間の承諾を示して必要です。ウエファーが習慣specに一致させなければ私達はX線Orientator等によって偏光顕微鏡によって無接触抵抗の試験装置によってローマ スペクトルの器械によって原子力の顕微鏡によって表面の粗さ、タイプ、抵抗、micropipe密度、オリエンテーションをテストする郵送物の前に装置によってウエファーが条件を満たせばウエファーのcharacerizationを、私達きれいになりますテストし、100つのクラスのクリーン ルームのそれらを詰めるために、それを取ります。
 
テストのプロジェクト:FWHMおよびXRDのプロジェクト
全幅半高さは（FWHM）最高の半分と等しい独立変数の2つの極度な価値間の相違によって与えられる機能の範囲の表現です。すなわち、それは最高の広さ半分ののＹ軸のそれらのポイントの間で測定される分光カーブの幅です。
 
AlNの型板のFWHMそしてXRDの例は次あります:

AlNの型板のFWHMそしてXRD

AlNの型板のFWHMそしてXRD
 
ここに私達は実験を一例として示します:
サファイアのGaNの実験:脈打ったレーザーの沈殿による異なった基質のGaNの厚いフィルムの光電子工学の特性そして構造性格描写:
 
サファイアのGaNの実験:脈打ったレーザーの沈殿による異なった基質のGaNの厚いフィルムの光電子工学の特性そして構造性格描写:
すべてのGaNのフィルムのサンプルは窒素血しょう周囲の空気の1000の◦CのPLDによって異なった基質で沈殿しました。部屋は10−6トルに沈殿プロセスが始まった、N2のガスは（99.999%の純度と）もたらされました前にポンプでくまれ。N2血しょうが注入されたら働き圧力は1.13の× 10−4のトルでした。KrFのエキシマー レーザー（λ = 248 nm、Lambda Physik、Fort Lauderdale、FL、米国）は切除の源として用いられ、60 mJの1つのHzそしてパルス エネルギーの繰返し率と作動しました。GaNのフィルムの平均成長率はおよそ1 µm/h.でした。レーザ光線は45◦の回転ターゲットのの斜めに事件でした。GaNターゲットはフィルムの沈殿の間に30のrpmで回る前の基質からの9 cmの固定間隔のHVPEそしてセットによって製造されました。この場合、GaNの~4のµm厚いフィルムはGaN/サファイアの型板（A）のでサファイア（サンプルB）、Si （111） （サンプルC）、およびSi （100）サンプル育ちました（サンプルD）。サンプルAのGaNのために、2-µm GaNの層はMOCVDによってサファイアの基質で第一に沈殿しました。スキャンの電子顕微鏡検査（SEM、S-3000H、日立、東京、日本）、伝達電子microcopy （TEM、H-600、日立、東京、日本）、原子力の顕微鏡検査（AFM、DI-3100、Veeco、ニューヨーク、NY、米国）、二重水晶のX線回折（XRD、X'PertプロMRD、PANalytical、アルメロ、ネザーランド）、低温photoluminescence （PL、Flouromax-3、Horiba、東京、日本）、およびラマン分光学（Jobin Yvon、Horiba、東京、日本）は異なった基質で沈殿したGaNの型板の微細構造そして光学的性質を探検するために用いられました。GaNのフィルムの電気特性は77 Kで冷却する液体窒素の下のヴァンder Pauwホールの測定によって定められました
 
 
図2は異なった基質で育つGaNの（0002の）フィルムの典型的なXRDパターンの比較を示します。それは（0002の）回折のピークのFWHMの価値に変化がある、および異なった基質のGaNの回折のピークの強度は34.5度頃得られましたこと見ることができます。サンプルのGaN （0002）の強度はA GaN/サファイアの型板のGaNのフィルムは非常にc指向で、よりよい結晶の質があることを示すすべてのサンプル間の最も強いです。GaN （0002）のFWHMは0.19◦、0.51◦、0.79◦および1.09◦でサンプルA、B、CおよびDのために測定されました、それぞれ評価します。但し、XRDのピーク強度はFWHMが減ると同時に増加します;これは小さい穀物の集合か成長プロセスの間に粒界の動きによるクリスタライトのサイズの増加に帰因します。XRDの回折のピークのFWHMがフィルム[26]の平均クリスタライトの結晶粒度に関連してあるので、異なった基質で育つGaNの結晶粒度はDebye-Schererの同等化[27]を使用して計算されます:DがクリスタライトのサイズであるところにD = 0.9λ/FWHMcosθ （1）、λはX線の波長であり、θは回折の角度です。サンプルA、B、CおよびDのクリスタライトのサイズは57、20、13、および9 nmであるためにそれぞれ推定されます。これらの結果はサンプルAおよびBで育つGaNのフィルムの結晶の質がサンプルCおよびD. Applで育つフィルムのそれよりよいことを示します。Sci。2017年、7、9枚のGaN/サファイアの型板の87 3つは非常に方向づけられるcの‐、よりよい結晶の質があります。GaN （0002）のFWHMは0.19°、0.51°、0.79°および1.09°でサンプルA、B、CおよびDのために測定されました、それぞれ評価します。但し、XRDのピーク強度はFWHMが減ると同時に増加します;これは小さい穀物の集合か成長プロセスの間に粒界の動きによるクリスタライトのサイズの増加に帰因します。XRDの回折のピークのFWHMがフィルム[26]の平均クリスタライトの結晶粒度に関連してあるので、異なった基質で育つGaNの結晶粒度はDebyeの‐のSchererの同等化[27]を使用して計算されます:DがクリスタライトのサイズであるところにD = 0.9λ/FWHMcos θ （1）、λはXの‐光線の波長であり、θは回折の角度です。サンプルA、B、CおよびDのクリスタライトのサイズは57、20、13、および9 nmであるためにそれぞれ推定されます。これらの結果はことをc示します

 
異なった基質の図2.育つGaNのフィルムのX線回折の(XRD)の測定の結果
 
結論:GaN/サファイアの型板、サファイア、Si （111）、および高温PLDによってSi （100）で育つGaNの厚いfiのlms。より多くの製品に関する情報を必要とすれば、GaNの結晶の成長の質に対する基質の効果、表面の形態、圧力の行動およびインターフェイス特性は尋ねます私達を調査されました。
 

限られるシアムンPowerwayの先端材料Co.は（PAM-XIAMEN）化合物半導体材料の統合の半導体の結晶成長、プロセス開発およびエピタクシーのためのハイテクな企業であり、そこにである2主要な分野化合物半導体のウエファーの研究そして生産を専門にする:SiC&GaNの文書（SiCのウエファーおよびエピタクシー、GaNのウエファーおよびepiのウエファー）およびIII-V材料（III-Vの基質およびepiサービス:INPウエファー、GaSbのウエファー、GaAsのウエファー、InAsのウエファーおよびInSbのウエファー）。私達のウエファーはLEDの半導体の照明、無線コミュニケーション、太陽エネルギー、赤外線装置、レーザーの探知器で広く利用されて、半導体力装置は、力装置、高温装置および光電装置を含んで、そこに、小型/マイクロLED、パワー エレクトロニクスおよびマイクロウェーブRFのためSiのGaNを含むGaNのウエファー、SiCのGaNおよびサファイアのGaNである。

一流の専門の会社として、私達は絶えず既存のプロダクトの質を改善することに努力している。PAM-XIAMENに大学院生で、医者構成される、強い技術的なR & Dのチームがマスターあり、強いR & Dの強さがある。会社の技術的な背骨は30yearsのための物質的な準備でおよび関連装置の設計および開発ほとんど従事して、材料、物質的な準備プロセスの身体検査の、化学および電気特性の詳細な研究がある。理論的な沈殿の多くの年および科学的な、科学技術の人員の実践経験の蓄積は関連した材料および装置の開発で会社の製品性能および装置の設計機構がユーザーの実際の技術的な、科学技術の必要性を満たすことを保障している間会社を持っている独特な洞察力および独特な利点を作る。