​​6インチ JGS2 ウェーハ クォーツ基板 DSP 1mmt 高性能ウィンドウ用 溶融シリカ

6インチJGS2ウェーハDSP 1mmt製品ディスプレイ

6インチJGS2石英ウェーハ概要​

6インチJGS2 DSP（両面研磨）ウェーハ基板は、1 mmの厚さで、UVグレードの溶融シリカ（JGS2）から製造された高精度基材です。​その核心的な価値は、220 nmから2500 nm​​（特にUVから近赤外線波長に適しています）の広いスペクトル範囲にわたるJGS2の優れた光線透過率にあります。さらに、​​非常に低い熱膨張係数（約5.8×10⁻⁷/K）​​と​​高いモース硬度（約グレード7）​​により、高温や腐食性環境などの過酷な条件下でも優れた寸法安定性と物理的強度を維持します。この基板は両面研磨されており、ナノスケールの表面粗さを実現しています。これは主に、​​半導体フォトリソグラフィ、高性能光学フィルター基板、フォトニック通信デバイス（例：DWDMフィルターチップ）、MEMSセンサー​​などのハイエンド分野で使用されており、精密光学システムに信頼性の高い材料基盤を提供します。

6インチJGS2石英基板の主要パラメータ​

材料特性：JGS2溶融シリカ​​

JGS2は、水素酸素炎融合によって製造された​​UV光学石英ガラス​​です。その主な特徴は次のとおりです。

• 優れた光学性能​​：JGS2は、220 nmから2500 nm​​の広いスペクトル範囲にわたって高い透過率を示し、紫外線から近赤外線までの光を効果的に透過させます。これにより、光学窓、レンズ基板、その他のコンポーネントの製造に理想的な材料となります。
• ​​優れた熱安定性​​：​​非常に低い熱膨張係数​​により、急激な温度変化に耐え、ひび割れや変形を防ぎ、高温プロセス環境での寸法安定性を確保します。
• 優れた機械的強度と化学的慣性​​：高い硬度とヤング率は十分な機械的強度を提供し、さまざまな化学物質（フッ酸と熱リン酸を除く）に対する耐性は、厳格な産業環境の要求を満たします。

6インチJGS2ウェーハの主なアプリケーションシナリオ

1. 上記の特性に基づいて、この製品は主に以下に適用されます。
2. ​​半導体プロセス​​：フォトリソグラフィやエッチングなどのプロセスでマスクプレート基板またはキャリアウェーハとして使用され、その高純度と熱安定性が重要です。
3. ​​光学部品製造​​：高性能窓、プリズム、フィルターの基材として機能し、特にUV透過を必要とする光学システムに適しています。
   ​​フォトニック通信デバイス​​：光学的均一性と低損失が重要な、高密度波長分割多重（DWDM）システム用のフィルター基板の製造に使用されます。

6インチJGS2ウェーハのQ&A

Q1：UV光学用途に1 mm厚の6インチJGS2 DSPウェーハ基板を使用する主な利点は何ですか？​​
​​A1:​​ その主な利点は、優れたUV透過率（220 nmまで）と非常に低い熱膨張係数（〜5.5×10⁻⁷/℃）であり、高出力UV照射下での熱歪みを最小限に抑え、半導体リソグラフィやレーザーシステムなどの要求の厳しい環境での安定した性能を保証します。

​​Q2：1 mmの厚さは、高精度システムにおける基板の性能にどのように貢献しますか？​​
​​A2:​​ 1 mmの厚さは、機械的強度（取り扱いストレスに抵抗）と光学的平坦性の最適なバランスを提供し、精密光学およびフォトリソグラフィツールでビームコヒーレンスを維持し、波面歪みを低減するために重要です。

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