当社のSiC エンドエフェクタは、半導体製造環境における超クリーンなウェーハハンドリング用に設計されています。高純度炭化ケイ素を使用して製造されたこれらのフォークは、優れた耐熱性高密度で微細な SiC 本体は、耐薬品性, および 機械的強度を提供し、エッチング、堆積、高温搬送システムなどの

過酷なプロセスチャンバーでの使用に最適です。高密度で微細な SiC 本体は、低パーティクル発生, 優れた寸法安定性, および

200mm から 300mm のウェーハ

との互換性を保証します。特定のロボットアームおよびウェーハキャリア向けにカスタム設計も利用できます。

主な特徴:

材質: 高純度炭化ケイ素 (SiC)

優れた耐熱性 (最大 1600℃)

優れた耐薬品性および耐プラズマ性

高い機械的強度と剛性

クリーンルームでの使用に適した低パーティクル発生

4 インチ、6 インチ、8 インチ、12 インチのウェーハハンドリングに対応

ロボットとの互換性のためのカスタム形状とスロット	製品仕様:
パラメータ	仕様
材質	高純度 SiC (≧99%)
サイズ	カスタマイズ可能 (4～12 インチウェーハ用)
表面仕上げ	要件に応じて研磨またはマット
耐熱性	最大 1600℃
耐薬品性	酸、塩基、プラズマに耐性
機械的強度	曲げ強度 > 400 MPa