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マイクロジェットレーザー機器は,高エネルギーレーザーとマイクロスケール液体ジェットを組み合わせた,高精度加工システムの一種で,主に半導体,光電子と医療基本原理は,微米未満の加工精度 (最大0.5μm) と熱影響のゼロに近い領域 (HAZ<1μm) に,パルスレーザー光 (紫外線や緑光など) を高速流体ジェット (通常は離子化水または惰性液体) に結合する半導体産業では,この技術は従来のプロセスよりも著しく優れている.例えば:シリコンカービード (SiC) ウェーフを5μmの縁破裂制御で切る,速度100mm/sまで; 3DICを通過したシリコンホール (TSV) を加工するとき,穴壁の荒さRa<0.5μm,深さから幅の比10:1また,高度なパッケージでのGaNデバイスゲートエッチングおよびRDL窓開口に ± 1μmの精度で使用できます.そのユニークな利点には,機械的ストレスのない,化学汚染がない,クリーンルーム環境との互換性ナノスケール処理のためのフェムト秒レーザーアップグレードをサポートします
高速の水噴射器に 結合しています横断エネルギーの均質な分布を持つエネルギービームは,水柱の内壁に完全な反射後に形成されます.低ライン幅,高エネルギー密度,制御可能な方向性,処理材料の表面温度をリアルタイムで削減する特性があります.硬くて壊れやすい材料の統合的かつ効率的な仕上げのための優れた条件を提供します.
レーザーマイクロ水噴流加工技術は,水と空気との接点でレーザーの全反射現象を利用し,レーザーは安定した水噴流の中に結合します.そして,水噴出機の内部にある高エネルギー密度は,物質の除去を達成するために使用されます..
| カウンタートップの容量 | 300*300*150 | 400*400*200 |
| 線形軸 XY | 線形モーター | 線形モーター |
| 線形軸 Z | 150 | 200 |
| 定位精度 μm | +/−5 | +/−5 |
| 繰り返し位置付け精度 μm | +/-2 | +/-2 |
| 加速 G | 1 | 0.29 |
| 数値制御 | 3軸 /3+1軸 /3+2軸 | 3軸 /3+1軸 /3+2軸 |
| 数値制御型 | DPSS Nd:YAG | DPSS Nd:YAG |
| 波長 nm | 532/1064 | 532/1064 |
| 定位電源 W | 50/100/200 | 50/100/200 |
| 水噴流 | 40〜100 | 40〜100 |
| ノズルの圧力バー | 50〜100 | 50から600 |
| 寸法 (機械) (幅 * 長さ * 高さ) mm | 1445*1944*2260 | 1700*1500*2120 |
| サイズ (コントロールキャビネット) (W * L * H) | 700*2500*1600 | 700*2500*1600 |
| 重量 (機器) T | 2.5 | 3 |
| 体重 (コントロールキャビネット) kg | 800 | 800 |
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処理能力 |
表面荒さ Ra≤1.6um 開口速度 ≥1.25mm/s 円周切断 ≥6mm/s 線形切断速度 ≥50mm/s |
表面荒さ Ra≤1.2um 開口速度 ≥1.25mm/s 円周切断 ≥6mm/s 線形切断速度 ≥50mm/s |
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ガリウムナイトリッド結晶,超幅帯のギャップ半導体材料 (ダイヤモンド/ガリウム酸化物),航空宇宙の特殊材料,LTCC炭素セラミック基板,光伏,スキンチラター結晶および他の材料の加工. 注:加工容量は材料の特性によって異なります.
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半導体場
シリコンカービッドの積分は丸い
マイクロジェットレーザー (LMJ) 技術の"柔らかい"加工アプローチは,繊細な半導体材料の切断,溝,切断の品質要件を満たしています.垂直切断の刃が滑らかになる材料の高断裂強度を維持し,破裂リスクを大幅に軽減します.
特徴:
熱損傷はほとんど無視できます
処理コストは,従来の処理技術の55%です.
生産量は99%以上である.
労働力コストは現在の10分の"です
ワッフルスライス
特徴:
6インチ単片ウエファは基板の総コストを35%削減し,8倍効率が向上します
FRT表面地形試験 BOW=1.4μm
AFM表面試験 Ra=0.73μm
CMPは,直接ウエファー表面で行うことができます.
注:マイクロジェットレーザーは,基板厚さ ≥250μmのカスタムスライスに使用できます.
ガリウムオキシドの切断/切断
壊れやすい材料では,機械的ストレスや超高エネルギーなしでマイクロジェットレーザーを適用し,加工中に材料が割れる問題をよりうまく解決することができます.
高温液化粘着により,ガリウムオキシドを切る
LTCC セラミック基板のフィールド
この分野では,マイクロジェットレーザーの先端技術が 代用不可です.探査孔の位置と平らさ複数の層の異質材料の加工欠陥を回避する.
ZMSHは,以下を含む全サイクルのサポートをカバーするマイクロ流体レーザー機器のサービスを提供しています.
1) パーソナライズされた装置設計 (SiC/GaNおよび他の材料処理に適した)
2) プロセス開発とパラメータ最適化サービス (切断/掘削/エッチングその他のプロセスパッケージを提供)
3) 24/7の遠隔監視と迅速な保守 (主要部品のスペアパーツ倉庫サポート)
4) テクニカルトレーニング (クリーンルーム運用の認定を含む)
5) 設備のアップグレードサービス (フェムト秒レーザーモジュール統合など).半導体分野に焦点を当て,プロセスの出力を15%以上増加させると約束され,応答時間は<4時間です.
1Q: マイクロジェットレーザー技術 は 半導体 製造 で 何 に 用い られ ます か.
A: 超精度で低損傷で SiC/GaN ウェーバーのような壊れやすい材料を切ったり 掘ったりできます 微小小の精度で 熱効果はゼロに近いです
2Q: マイクロジェットレーザーは 伝統的なレーザー切断と比べたら?
A: 熱の影響を受けたゾーン (HAZ) とエッジチップを排除し,より速い速度を維持し,先進的なパッケージングと薄薄質の加工に最適です.
タグ: #マイクロジェットレーザー機器, #高エネルギーパルスレーザー, #チップマイクロホール, #TSV処理, #LASER MICROJET (LMJ), #Wafer dicing, #Metallic composite, #Microjetレーザー技術
