4インチ6インチ 高純度クォーツ結晶ボート SiO2 ワッフル拡散加工 高温耐性
製品構造
クォーツ結晶ボートの構造は,主に無機化合物であるシリコン四酸化物 (SiO2) で構成されています.クォーツボートは以下の特徴を持っています:
- 光学性能:クォーツ結晶ボートは,可視光を通してだけでなく,紫外線や赤外線を通して,良い光伝達を持っています.
- 酸耐性: 高温で,クォーツ結晶ボートは硫酸,窒素酸,塩酸,水水レジスなどの侵食に耐えるクォーツ・クリスタルボート化学的安定性は,酸性セラミックの30倍,ニッケルクロム合金とセラミックの150倍に相当します.
- 高温耐性:クォーツ結晶ボートは,高温耐性があり,高温環境と熱ショックに耐えることができます.熱膨張係数は特に小さい.
わかった
製品パラメータ
材料 |
クォーツ/SiO2 |
色 |
透明性 |
純度 |
990.9% |
密度 |
2.20g/cm3 |
融合点 |
1730°C |
特殊性 |
熱安定性,電気隔熱性 |
製品使用
クォーツボートには,以下の分野を含む,但しこれらに限定されない,多くの分野で幅広い用途があります.
- 電気光源と半導体:クォーツ結晶ボートは,高圧水銀ランプ,クセノンランプ,ウルフタンヨイドランプ,タリウムヨイドランプ,赤外線ランプ,殺菌ランプ,その他の光源半導体材料と装置の生産過程では,クォーツ結晶ボートは,ドイツンとシリコン単結を育てるために,ピース,ボート,炉コアチューブ,ベルボトルとして使用されます.
わかった
- クォーツ結晶ボートの優れた光学特性により,クォーツ・クリスタルボート音,光,電気に広く使用される.レーダー,赤外線追跡方向探知,赤外線写真,通信,スペクトログラフの超音波遅延線の製造に使用される,大きな天文望遠鏡用の光譜計,プリズム,レンズ,反射窓
- 化学,金属,電気: 化学分野におけるクォーツ結晶ボートは,高温酸耐性ガス燃焼,冷却,換気装置に使用することができます.酸性溶液の蒸発,冷却吸い集め,貯蔵装置,などクォーツ・クリスタルボート光学ガラス,チュージブル・フラウレッサント・ボディ,電気炉のコア・チューブ,ガス燃焼散熱器に用いられる.電気工学では,クォーツボートを鼻コーン製造に使用できる.ロケットおよびミサイル用のノズルとラドーム人工衛星の電波隔離部品も
- 科学研究:クォーツ結晶ボートは,放射性装置,熱量計,真空吸収装置,精密鋳造など.
わかった製品に適用される実験とプロセスわかった
クォーツ結晶ボートは半導体製造プロセスにとって重要な消費品であり,主にウエファー,チップの転送,清掃プロセスに使用されます.クォーツボート が 適した 実験 や プロセス の 中 で ある:
- 拡散プロセス:半導体プロセスにおけるクォーツボートの主要な用途の1つは拡散プロセスである.拡散プロセスでは,複数のウエファーがクォーツボートに置かれ,その後に,バッチ製造のために炉管に入れられる..
- エッチングプロセス:クォーツ結晶ボートは,エッチングプロセスにも適しています. エッチングプロセスでは,クォーツ結晶ボートは,チップを運ぶツールとして使用できます.そしてチップはエッチング処理のために水晶ボートに置かれます.
- クォーツ結晶ボートも半導体プロセスの清掃プロセスで使用できます.清掃のために清掃タンクに配置し,チップを運ぶために使用することができます.
概要:
クォーツボートは,半導体プロセスにおける拡散プロセス,エッチングプロセス,清掃プロセスに適しています.これは,ウェーファー,転送チップ,クリーンプロセスを運搬するために使用できます.