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半導体オーブンSEOシリーズは、窒素雰囲気環境下での優れた気密性を備えた、大容量PID調整機能を特徴としています。半導体ウェーハの硬化、ICパッケージ、ガラス基板向けに設計されており、優れた温度均一性と安定性を提供します。
| 属性 | 値 |
|---|---|
| モデル | SEO-100N |
| 寸法 | 1700(L)*1200(W)*1800(H)mm |
| 重量 | 500-800kg |
| 総電力 | 21KW |
| 温度精度 | ±0.5℃ |
| 温度範囲 | 室温+10℃～250℃ |
調整可能な気流を備えた上部および下部の熱風循環システムを特徴としています。高品質のステンレス鋼と層状ブラケットで構成されており、最適な空間利用を実現しています。
リアルタイムモニタリング用の複数の流量計と酸素分析計を装備しています。酸素濃度を500PPM以下に維持します（100PPMのオプション）。
フィンラジエーターブラスト技術を備えた水冷により、冷却時間を短縮し、急激な温度変化による製品の損傷を防ぎます。
過熱保護、酸素濃度監視、窒素圧力アラーム、電子安全ロック、および非常停止スイッチが含まれています。
粒子濃度≤35,200 (0.5μm) は、千クラスのクリーンルーム規格に適合しています。
PID制御による高精度温度制御により、均一な熱分布を確保します。
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| ボックス寸法 | 700(L)*550(W)*(600*2)(H)mm |
| 動作モード | 2つの独立したボックス（1～4オプション） |
| 温度均一性 | ±1.5℃（無負荷） |
| 加熱時間 | ≤15分（200℃無負荷） |
| 冷却速度 | 2～5℃/分 |
| 清浄度クラス | クラス1000 |
ガス源: 窒素純度99.999% at 0.5-0.8Mpa
電源: 380V 50/60HZ 三相五線式、25mm²ケーブル
環境: 温度範囲5～40℃、相対湿度20～95%
床荷重: 最小1000kg/m²
