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DC マグネトロン スパッタリング コーティング マシン/DC スパッタリング システム
マグネトロン スパッタリング モデル: DC スパッタリング、MF スパッタリング、RF スパッタリング
DCスパッタリングとは？
DC スパッタリングは主に、クロム、チタン、アルミニウム、銅、ステンレス鋼、ニッケル、銀、金などの純金属ターゲットをスパッタリングするために使用され、高導電性フィルムに使用されます。
DC スパッタリングは、薄膜物理蒸着 (PVD) コーティング技術であり、コーティングとして使用されるターゲット材料にイオン化ガス分子が衝突し、原子がプラズマに「スパッタリング」されます。これらの気化した原子は、コーティングされる基板上に薄膜として凝縮するときに堆積します。
DC スパッタリングは、PVD 金属蒸着および導電性ターゲット コーティング材料向けの最も基本的で安価なタイプのスパッタリングです。このプロセスの電源としての DC の 2 つの主な利点は、制御が容易であり、コーティング用の金属蒸着を行う場合に低コストのオプションであることです。
DC スパッタリングは、分子レベルでマイクロチップ回路を作成する半導体業界で広く使用されています。ジュエリー、時計、その他の装飾仕上げのゴールド スパッタ コーティング、ガラスや光学部品の無反射コーティング、金属化されたパッケージング プラスチック、車のミラー、車の照明反射板、車のホイールやハブなどに使用されます。
DCマグネトロンスパッタリングコーティング機パフォーマンス
1.到達真空度：5.0×10以上-6トル。
2.使用真空圧力：1.0×10-4トル。
3.排気時間：1気圧から1.0×10-4Torr≤ 3 分 (室温、乾燥、クリーン、空のチャンバー)
4.メタライズ材料（スパッタリング+アーク蒸着）：Ni、Cu、Ag、Au、Ti、Zr、Cr、TiN、TiC、TiAlN、CrN、CrCなど
5. 操作モデル: 全自動/半自動/手動
DC マグネトロン スパッタリング コーティング マシンの構造
真空コーティング機には、以下にリストされている主要な完成システムが含まれています。
1. 真空チャンバー
2. ローギング真空排気システム（バッキングポンプパッケージ）
3. 高真空排気システム（磁気浮遊分子ポンプ）
4. 電気制御および操作システム
5. 付帯設備システム（サブシステム）
6. 成膜装置：DCスパッタリングカソード、DC電源、オプションのバイアス電源イオン源
DCマグネトロンスパッタリングコーティング機仕様
| RTSP1250-DC | |||||||
| モデル | RTSP1250-DC | ||||||
| テクノロジー | マグネトロンスパッタリング（DC）＋イオンプレーティング | ||||||
| 素材 | ステンレス鋼 (S304) | ||||||
| チャンバーサイズ | Φ1250*H1250mm | ||||||
| チャンバータイプ | シリンダー、縦型、1ドア | ||||||
| スパッタリング装置 | 黒色薄膜蒸着専用設計 | ||||||
| 堆積材料 | アルミニウム、銀、銅、クロム、ステンレス鋼、ニッケル、チタン | ||||||
| 堆積源 | 円筒型/平面型スパッタリング ターゲット + 7 つのステアリング カソード アーク ソース | ||||||
| ガス | MFC- 4 つの方法、Ar、N2、O2、C2H2 | ||||||
| コントロール | PLC(プログラマブルロジックコントローラ) + タッチスクリーン |
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| ポンプシステム | SV300B - 1 セット (ライボルト) | ||||||
| WAU1001 - 1 セット (ライボルト) | |||||||
| D60T- 2sets (ライボルト) | |||||||
| ターボ分子ポンプ: 2* F-400/3500 | |||||||
| 前処理 | バイアス電源: 1*36 kW | ||||||
| 安全システム | オペレータを保護する多数の安全インターロック と設備 |
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| 冷却 | 冷水 | ||||||
| パワーエレクトリック | 480V/3相/60HZ（USA準拠） | ||||||
| 460V/3相/50HZ（アジア対応） | |||||||
| 380V/3相/50HZ（EU-CE準拠） | |||||||
| フットプリント | L3000×W3000×H2000mm | ||||||
| 総重量 | 7.0 トン | ||||||
| フットプリント | (L*W*H) 5000*4000 *4000 MM | ||||||
| サイクルタイム | 30～40分（基材の材質によりますが、 基板の形状と環境条件) |
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| パワーマックス.. | 155KW | ||||||
| 平均消費電力（約） | 75KW | ||||||
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詳細な仕様については、お問い合わせください。Royal Technology は、トータル コーティング ソリューションを提供できることを光栄に思います。
