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8 年
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ITO ロール・トゥ・ロール・スプッティング・真空・ウェブ・コーティング・マシン / PETフィルム PVD・スプッティング・マシン
私たちは,あなたの多層堆積要求を満たすために,私たちのマルチWebシリーズロールをロール真空スプッターWebコーティングを提案します.
マルチウェブコーターは以下の主要機能を提供します.
A. 1つの室は,様々な堆積源を収容するために多圧帯に分かれています.
B. 複数の層のコーティングのために,複数のソースの同時堆積能力を1つの網通路に搭載する.
C. 逆向きの網巻き方向は,真空を壊さずに無限の層を堆積させることができる.
D. 精密な網処理メカニズムとエッジガイドで,調整を失うことなく複数回通過を可能にします (オプション)
E. AC 逆向きのウェブドライブシステムで,複数のウェブ速度を正確に制御する.
F. 線形光学および/または抵抗厚さモニタリングシステム,精密な堆積厚みと均一性を制御する (オプション)
G. 室はSUS304Lステンレスで,低出ガスコンポーネントで,より深い真空を保証する.
H. トルボ分子ポンプと低温冷凍装置の組み合わせによる真空ポンプにより,水分や油汚染のない清潔な真空を供給する.
ITO ロール・トゥ・ロール・スプッティング・バキューム・ウェブ・コーティング・マシン
1材料:PET,PEN,PES,PI,PC,PA,フィルム
2基板の厚さ: 15~300μm
3堆積方法:SiO2 (二酸化炭素) の場合,AC反応性;ITO (金属と電導体) の場合,パルスDC
4オキシード導体 TCO: ITO,AZO,IZO...
5金属導体 アル,キュー,モ,アグ...
6光学フィルム:Ta2O5,Nb2O5,SiO2,TiO2...
7半導体 ZnO インガズノ...
8隔熱器: SiO2,SiNx,AlOx,AlNx...
9均一性: 網全体で ± 5%
ITO ロール・トゥ・ロール・スプッティング・バキューム・ウェブ・コーティング・マシン
| 一般仕様 | |||||||
| 真空室体:単室多圧ゾーン | |||||||
| 移動可能な車: Web Carriage | |||||||
| 放出ゾーン: 2 × 噴射ゾーン (オプション: 3 噴射ゾーン) | |||||||
| 発射源: 2 x ダブルカソード発射源 (オプション: 3 ダブルカソード発射源) | |||||||
| 基板前処理:線形イオン源 | |||||||
| 網の幅: 1300mm | |||||||
| 巻き込み直径: Φ600mm 最大 | |||||||
| 巻き込み方向:両方向 | |||||||
| 基板厚さ: 15~300μm | |||||||
| Web ライン 速度:0.5~10M/min | |||||||
| 網張力:5.0PLI 最大0.5PLI 最短 | |||||||
| Web アライナメント: ±3mm (1回通過) | |||||||
| ハイ真空ポンプ:ターボポンプ | |||||||
| 粗末真空ポンプ: 乾燥ポンプと吹風器の組み合わせ | |||||||
| 湿度ポンプ:ポリコールド・クライオジェニック | |||||||
| 堆積厚さの制御:モニタリング (オプション) | |||||||
| a: 光学送信 b: エディ電流抵抗 | |||||||
| システム操作:PLCベースのコンピュータシステム操作 |
ロイヤル・テクノロジーは 完全なコーティング・ソリューションを 提供できることを光栄に思います