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サファイア Al2O3 結晶基板 超薄 2 " 3" 双面 光学用に磨いた
発見する高品質高品質のウエフラーは 正規のウエフラー・クリスタルから精細に切製され 卓越した耐久性と 優れた光学特性があります光学を含む様々な用途に最適です独特の特性と素晴らしい外見で 優れた品質とパフォーマンスを要求する人のための完璧な選択ですサファイア結晶のウエフルは,任意のアプリケーションで声明を出すことは間違いありません.
サファイア結晶基板の主要仕様
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ユニット |
仕様 |
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2 インチ 基板 |
4インチ 基板 |
6 インチ 基板 |
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| 直径 | mm | 500.8±01 | 100±01 | 150±0 について2 |
| 厚さ | ええと | 430±10 | 650±10 | 1300±20 |
| A平面の表面方向性 | 資格 | 0°±0.1° | 0°±0.1° | 0°±0.1° |
| M平面の表面向き | 資格 | 0.2°±0.05° | 0.2'±0.05° | 0.2°±005 |
| 主要平面長さ | mm | 16±1 とすると0 | 30±1 | 47.5±1 または 25±1 |
| 主要的な平面方向性 | 資格 | A平面±0.25° |
A平面±0.25° |
A平面±0.25° |
| 背面の荒さ | ええと | 1.0±02 | 1.0±02 | 1.0±02 |
| 前面の荒さ | nm | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.2 |
| ウェッファー・エッジ | タイプ | R または T | R または T | T |
| 総厚さの変化,TTV | ええと | ≤6 | ≤6 | ≤10 |
| 申し訳ない | ええと | ≤15 | ≤15 | ≤15 |
| ボウ | ええと | -10~0 | -10~0 | -10~0 |