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溶融シリカウエファー (Fused Silica Wafer) は,溶融石英材料から成る光学級の単結晶ウエファーである.溶融石英または溶融シリカウエファーとも呼ばれ,優れた光学特性を有する.例えば 0 からのトランスミッション範囲.17から2.1um,0.26から2.1um,0.0185から3.5um,ワープは35um未満,JGS1,JGS2,JGS3およびF-HUVなどのFLHモデル,要求に応じて2番目のフラット,表面粗さRaは1.0nm未満.他の材料,例えばカルシウムシリケート板やボロシリケートガラスと比較すると溶融シリカ・ウェーバーは,レンズ,レンズなどの高精度光学部品のための理想的な材料です.窓プリズムも
| 材料 | 紫外線溶融シリコン,溶融クォーツ (JGS1,JGS2,JGS3) | ||||||
| 仕様 | ユニット | 3 円 | 4 円 | 5インチ | 6インチ | 8インチ | 12インチ |
| 直径 (または四角) | mm | 76.2 | 100 | 125 | 150 | 200 | 300 |
| トール (±) | mm | <0.1~0.25mm | |||||
| 最細厚さ | mm | > 0 でした10 | > 0 でした10 | > 0 でした30 | > 0 でした30 | > 0 でした30 | > 0 でした50 |
| 主要フラット | mm | 22 | 32.5 | 42.5 | 57.5/ノッチ | ノッチ | ノッチ |
| LTV (5mmx5mm) | μm | <2 | <2 | <2 | <2 | <2 | <10 |
| TTV | μm | <8 | <10 | <15 | <20 | <30 | <30 |
| 身をかがめる | μm | ±20 | ±25 | ±40 | ±40 | ±60 | ±60 |
| ワープ | μm | <30 | <40 | <50 | <50 | <60 | <60 |
| PLTV ((<0.5um) | % | ≥95% ((5mm*5mm) | |||||
| 伝播性 | UV,光学,IR またはカスタムオプション | ||||||
| エッジの丸め | mm | SEMI M1.2 規格に準拠/IEC62276を参照 | |||||
| 表面タイプ | 片面から磨いた/二面から磨いた | ||||||
| 滑らかな面 Ra | nm | <1.0nm または要求に応じて特異 | |||||
| 裏側の基準 | μm | 一般的には0.2-0.5μmまたはカスタマイズされています. | |||||
| 外見 | 汚染 | ない | |||||
| 粒子>0.3μm | <=30 | ||||||
| 切断痕 線紋 | ない | ||||||
| スクラッチ | ない | ||||||
| 裂け目,シール痕跡,汚れ | ない | ||||||
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| パラレリズム | 3 アークセック |
| ワープ | <35um |
| トランスミッション | IR,可視,DUV |
| 密度 | 2.20g/cm3 |
| 証明書 | ISO9001,RoHS |
| OH 含有量 | < 5ppm, < 10ppm, < 100ppm |
| 損害の限界値 | >10J/cm2 |
| FLHモデル | JGS1,JGS2,JGS3,F-HUV |
| 厚さ | 0.1~10mm |
| 表面の質 | 20から10 |
| 溶融クォーツ研究用品 | 高純度溶融シリカ |
| アルミニウムシリケートガラス | そうだ |
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