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2inch 4iinch 6Inchのサファイアはサファイアの基質にAlNの型板のAlNのフィルムを基づかせていた
5G BAW装置のためのサファイアの基質のAlNの型板の層のウエファーの2inch
他のrelaterd 4INCH GaNの型板の指定
GaN/のAlの₂ Oの₃の基質(4") 4inch | |||
項目 | Un-doped | Nタイプ | 高添加される Nタイプ |
サイズ(mm) | Φ100.0±0.5 (4") | ||
基質の構造 | サファイア(0001)のGaN | ||
SurfaceFinished | (標準:SSPの選択:DSP) | ||
厚さ(μm) | 4.5±0.5;20±2;カスタマイズされる | ||
伝導のタイプ | Un-doped | Nタイプ | 高添加されたNタイプ |
抵抗(Ω·cm) (300K) | ≤0.5 | ≤0.05 | ≤0.01 |
GaNの厚さの均等性 | ≤±10% (4") | ||
転位密度(cm-2) | ≤5×108 | ||
使用可能な表面積 | >90% | ||
パッケージ | クラス100のクリーン ルームの環境で包まれる。 |
結晶構造 | ウルツ鉱 |
格子定数(Å) | a=3.112、c=4.982 |
伝導帯のタイプ | 直接bandgap |
密度(g/cm3) | 3.23 |
表面のmicrohardness (Knoopテスト) | 800 |
融点(℃) | 2750 (N2の10-100棒) |
熱伝導性(W/m·K) | 320 |
バンド ギャップ エネルギー(eV) | 6.28 |
電子移動度(V·s/cm2) | 1100 |
電気故障分野(MV/cm) | 11.7 |