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部分のオリエンテーションのための典型的な選択:
なぜサファイアか。
ゼロ程度:眺めの方向は水晶の光軸に平行である
90度:眺めの方向は水晶の光軸に垂直である
C軸線:棒では、長さに沿う方向。窓では、表面への方向垂直。
M平面:光学軸(c)を含んでいる平面および30度軸線に傾斜させて
平面:軸線に垂直であるC軸線を含んでいる平面
R平面:平面はM平面と同じ地帯の光学軸に57.5667度を傾斜させた。
任意:部品と結晶のオリエンテーション間に指定関係がない。部品はオリエンテーションについての心配なしで製造される。
2inch c軸線のウエファーのための細部
サイズ:2インチのDSP 100 R軸線
材料:泡のないKYのサファイアAl2O3の単結晶;色;
オリエンテーション:、M軸線0.0+/-0.2°を離れてCカット;
直径:50.8 +/-0.2mm;
厚さ:100 ± 15 um;
平たい箱の:16.0 +/- 1.0 mm;または丸型
オリエンテーションの:軸線
表面:磨かれるSSP /dspのEpi準備ができた;
TTVの<> 前部表面の粗さ(RA)のRAの <> 背部表面の粗さ(RA)のRA = 1.0
+/-0.2um;
端:1mmから;
標準的なウエファー 2インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP 3インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP 4インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP 6インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP | 特別なオリエンテーション 平面の(1120の)サファイアのウエファー R平面の(1102の)サファイアのウエファー M平面の(1010の)サファイアのウエファー 軸線またはM軸線の方の0.5°~ 10°のoffcutとのC軸線、 他のカスタマイズされたオリエンテーション |
カスタマイズされたサイズ 10x10x0.5mmのサファイアのウエファー 20x20x0.5mmのサファイアのウエファー 超薄い(100um) 2inchサファイアのウエファー 8インチのサファイアのウエファー | 模造されたサファイアの基質(PSS) 2インチのC平面PSS 4インチのC平面PSS |
2inch | DSP C-AXIS 0.1mm/0.175mm/0.2mm/0.3mm/0.4mm/0.5mm/1.0mmt SSPのC軸線0.2/0.43mm (DSP&SSP) axis/M axis/R軸線0.43mm
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3inch | DSP/SSPのC軸線0.43mm/0.5mm
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4Inch | dspのc軸線0.4mm/0.5mm/1.0mm sspのc軸線0.5mm/0.65mm/1.0mmt
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6inch | sspのc軸線1.0mm/1.3mmm
dspのc軸線0.65mm/0.8mm/1.0mmt
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