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シリコンカービッド (sic) トレイ,LED産業におけるICPエッチングプロセスのためのウェーファーホルダーとして
シリコンカービッド (SiC) は熱伝導性が優れ,耐腐蝕性があり,熱膨張が低く,シリコンカービッドはシールリングやベアリングの密封材料として優れた材料です.シリコンカービッドのトレイは,優れた耐腐蝕性を持っています耐磨性,高温下での力学的な強度.我々は多くのサイズでシリコンカービッドのトレイだけでなく,他のSiC製品を提供します.
材料の特性:
製造プロセス:
シリコン・カービッド・トレイの特性
| 複合式 | SiC |
| 分子重量 | 40.1 |
| 外見 | ブラック |
| 溶融点 | 2730°C (4,946°F) (分解する) |
| 密度 | 3.0から3.2g/cm3 |
| 電気抵抗性 | 1から4 10x Ω-m |
| ポイソン・レシオ | 0.15から0だ21 |
| 特定熱量 | 670から1180 J/kg-K |
シリコンカービッドトレイの仕様
| タイプ | 再結晶化したSiC | シンターされたSiC | 反応結合のSiC |
| シリコンカービードの純度 | 990.5% | 98% | >88% |
| マックス ワーキングテンパー (`C) | 1650 | 1550 | 1300 |
| 散布密度 (g/cm3) | 2.7 | 3.1 | >3 |
| 外見 毛孔性 | <15% | 2.5 | 0.1 |
| 折りたたみ強度 (MPa) | 110 | 400 | 380 |
| 圧縮強度 (MPa) | >300 | 2200 | 2100 |
| 熱膨張 (10^-6/`C) | 4.6 (1200`C) | 4.0 (<500`C) | 4.4 (<500`C) |
| 熱伝導性 (W/m.K) | 35~36 | 110 | 65 |
| 主要な特徴 | 高い温度 高い抵抗力 高度な純度 |
骨折強度 | 化学 耐性 |
特性要求:
シリコンカービッドトレイの用途
-シリコンカービードは半導体やコーティングなどの分野に適用できます.
- 私たちのシリコンカービッドトレイは,LED産業で広く使用されています.
シリコンカービッドの包装
シリコン・カービッド・トレイは,保管と輸送中に損傷を最小限に抑え,製品の品質を元の状態のままに保つために,慎重に扱われます.
品質管理:
