Add to Cart
マイクロ多孔性のアルミナの製陶術、ナノの多孔性の製陶術、多孔性の陶磁器の真空のチャックのテーブル
材料:
陶磁器アルミナ陶磁器炭化ケイ素
製品カテゴリ:
多孔性の陶磁器
多孔性の陶磁器に陶磁器の焼結の技術によって自体多数の気孔があり、真空のチャックのために使用される。それは半導体、パネル、レーザー プロセスおよび無接触線形スライドで広く利用された空気浮遊のプラットホームとして役立つことができる。
肯定的な適用によって工作物を吸収するか、または浮かべれば否定的な圧力ガスは、工作物ウエファー、ガラス、ペット フィルム、または他の薄い目的を含んでいる。
適用主義:
否定的な真空圧力の気流は陶磁器に入るために工作物吸着することができる置かれる。
肯定的な真空圧力の気流は陶磁器の出かけるために置かれる部品は爆破するか、または陶磁器に連絡なできる。
材料:
-多孔性の製陶術はアルミナによってなされ、炭化ケイ素、色は青灰色白く、薄茶、焦茶を含んでいる
-6 ″、8つの″、円形、正方形の、楕円形の不規則な形およびサイズで利用できる12の″の普通サイズ。
-気孔のサイズは15um、30um、40um、50um、100umが含まれている。
-注文のサイズは私達のために利用できる
特徴は下記のものを含んでいる:
高い平坦および平行
高力の密集した、均一微細構造
よい透磁率および均一吸着類縁
長い寿命
容易のドレッシング
異なったタイプの真空のチャックのテーブル:
薄くなるチャック
さいの目に切るチャック
クリーニングのチャック
交通機関のチャック
チャックの印刷
習慣は利用できる
サービス
ディスコ、ADT、K&S、応用材料TSK、OKAMOTO、マイクロ オートメーション、ロード開始点、等のさいの目に切る鋸および粉砕機のための新しく、改装された多孔性の陶磁器のチャック。
特徴の図表
|
|
プロダクト数 |
密度g/cm3 |
伸縮性GPaの係数 |
曲がる強さMPa |
×10-6/K熱膨張率 |
熱伝導性の係数か。W/mの・ K |
電気抵抗か。Ωの・ cm |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| アルミナ | A995 | 3.9 | 380 | 450 | 7.3 | 30 | 30 |
| 多孔性アルミナ | - | 2.5 | 55 | 50 | 7.4 | - | 30 |
| 炭化ケイ素 | 標準的なプロダクト | 3.1 | 410 | 500 | 4.6 | 170 | 170 |
| 多孔性炭化ケイ素 | - | 2.1 | 55 | 50 | 4.7 | - | 26 |
