半導体機器のポンプボディ標準またはカスタム形半導体装置ポンプボディは,半導体製造プロセスで使用されるポンプの部品である.ポンプのプロペラーや他の重要な内部部品を収容する責任がある.. 半導体機器のポンプボディは,通常,半導体製造プロセスで使用される化学物質,例えば酸,塩基,溶剤と互換性の......

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