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半導体装置 PEEK 標準またはカスタム形
半導体装置 PEEKボディは,高温耐性,化学耐性,低粒子生成.
PEEK (ポリエーテルエーテルケトン) は,優れた機械的,熱的,化学的特性により半導体産業で広く使用されている高性能熱塑性ポリマーです.
半導体機器では,PEEKボディは,高温耐性,化学耐性,次元安定性を必要とするコンポーネントで一般的に使用されます.PEEKボディを通常使用する半導体機器には,:
ワッフル処理ロボット
化学物料の配送システム
エッチング機器
イオン植入装置
ガス配送システム
真空室の部品
PEEK の 独特 な 特性 の 組み合わせ に よる と, PEEK は 構造 的 完全性 を 保ちながら 厳しい 環境 に 耐える こと が でき て いる の で,これら の 用途 に 理想 的 な 材料 に なり ます.