47.5 mmの± 1.5 mm SiCのエピタキシアルウエファー150.0 mm +0mm/-0.2mm平行to±1°<11-20> JDCD03-001-003 概観現在、SiCのウエファーの2つの主なタイプがある。最初のタイプは単一の炭化ケイ素ディスクの磨かれたウエファーである。それは高純...

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