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2 年
新しい設計 ヘリウムガスの充電と回収システム
システム構造
1) ヘリウム漏れ検出器
2) ヘリウムガス供給と回収ユニット
(a) 真空ポンプ装置
(b) ヘリウムガス供給装置
(c) ヘリウムガス回収装置
d) 電子機器
3) 換気管を除いて (デバイスのユーザがやっていること)
装置の仕様
1ヘリウム循環ガス
2注射圧 0~1.5MPa
3ヘリウム濃度測定範囲 0~100%
4バキューム範囲 0.001~760 トール
5インジェクションカップラー AUTO 2SVC
6復元コップラー AUTO 2SVC
7作業温度 5-40
8. AIRユーティリティを提供: 0.5-0.7 MPa