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Ionenimplantation用具のためのタングステン及びモリブデンの予備品
Ionenimplantation用具のためのタングステン及びモリブデンの予備品はウエファー材料の電気特性を変えるイオンが付いているウエファーを添加する半導体工業の真空プロセス、例えば伝導性である。プロセスは次のステップで分けられる:ウエファーへのイオン ビームのビームの選択的な注入のためのイオンのイオン源のイオンの作成、抽出および多くの分離、diverion、加速および集中。イオンimplanterのこの区域はビーム ラインと呼ばれる。
ビーム ラインで部品に使用する高性能材料はタングステン、モリブデン、Tantalおよびグラファイトである。さらに高く純粋な製陶術、例えばBN.のアイソレーターは使用される。
FanmetalはAMAT、VarianおよびAxelisのイオンImplantersのbeamlineに良質の消耗品および取り替えの部品を提供する。部品の装置の工程改善のための顧客の要求を一致する改善そして修正は付加サービスである。
イオンimplanterのイオン ビームの設計図。
Ionenimplantation用具映像のためのタングステン及びモリブデンの予備品: