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私達のイオン・インプランテーションの部品は耐食性、強さおよび高い熱伝導性のこれらの材料の理想的な組合せによるモリブデンおよびタングステンからなされる。
1400まで°C、強い電磁場、積極的なプロセス ガスおよび強力な機械力の温度は慣習的な材料のための問題を起こす。しかしない私達のプロダクトのために。モリブデン、タングステン、グラファイトまたは製陶術からなされる私達の耐熱性部品は当然耐食性、物質的な強さ、高い熱伝導性および絶対純度の理想的な組合せを勝る。100つまたはより多くのJXの部品はあらゆるビーム道の仕事にある。それらはイオンが効率的に発生し、ビーム道に沿う不純物からウエファーに正確にそして自由に導かれることを保障する。
イオン・インプランテーションは半導体の製造の重要なプロセスである。植え付けられたシステムの重要な部分はビーム道である。ここでは、イオンはウエファーの方に発生し、集中され、加速され、そして目標とされる。
私達のプロダクト。
部屋（タングステン、モリブデンおよび合金）
フィラメント（タングステンおよびタングステンの合金）
アーク スリット（タングステン、モリブデンおよび合金）
ホールダー（タングステン、モリブデンおよび合金）
陰極（タングステン、モリブデンおよび合金）
予備品（タングステン、モリブデンおよび合金）
*イオン・インプランテーション プロセスのために使用されて。
*半導体を製造するのに使用される。
*工具鋼の強くなることおよび表面の仕上げのために終わる金属で使用されて。
*等級別にされたインターフェイスを達成し、混合しにくい材料間の付着を増強するために混合するイオン ビームで使用されて。