JMZ-TK1-7A 高周波および超低周波振動制御用究極の防振装置(科学研究用)
JMZ-TKシリーズ
科学研究の精度限界を引き上げる:精密測定器におけるJMZ-TKの価値
最先端の科学研究において、測定精度はしばしば新たな発見の上限を決定します。走査型電子顕微鏡(SEM)、原子間力顕微鏡(AFM)、リソグラフィー装置、重力波検出装置などの機器は、ナノメートルまたはピコメートルレベルの環境振動に敏感です。西安浩安マイクロ波のJMZ-TKシリーズ防振装置は、まさにこれらの極限の精度を追求する最先端の科学研究機器のために特別に設計された「超静音プラットフォーム」です。
これらの機器における防振システムの要件は非常に厳しく、中~高周波振動を遮断するだけでなく、超低周波(<1Hz)の地盤微動ノイズにも効果的に対応する必要があります。JMZ-TKシリーズは、その低固有振動数設計と高い減衰特性の組み合わせにより、この課題を完璧に解決します。
- 地盤微動対策:最適化された設計により、垂直方向の固有振動数は3~5Hz以下にまで低減でき、地盤微動の主要周波数帯(1~20Hz)を効果的に遮断できます。
- 内部微振動の抑制:走査機構や真空ポンプなど、高精度機器の内部コンポーネントからも微振動が発生します。JMZ-TKの高い減衰性能は、これらの内部振動の伝達を迅速に減衰させ、機器構造内部での共振の形成を防ぎ、測定信号への干渉を抑制します。
研究者が電子顕微鏡下でサンプルを観察して原子構造を観察したり、リソグラフィー装置がシリコンウェーハ上にナノスケールの回路をエッチングしたりする場合、JMZ-TKは機器の下にほぼ絶対的な静止基準フレームを構築します。振動によって生じる画像のぼやけ、測定のずれ、回路のギザギザを排除し、機器の究極の解像度と繰り返し測定精度を直接的に向上させます。JMZ-TKシリーズは、科学者が未知の世界を探求し、人間の認知の境界を広げるのを助ける縁の下の力持ちと言えるでしょう。
構造寸法図
| モデル |
設置寸法(mm) |
全体寸法(mm) |
| JMZ-TK1-25A/40A/50A |
B: 63 |
A: 78 |
| M: 12 |
C: 20 |
技術パラメータ表
| モデル |
公称荷重(N) |
荷重範囲(N) |
固有振動数 fn≤(Hz) |
荷重作業高さ H0±1(mm) |
最大振動伝達率 |
耐衝撃試験 |
耐用年数
(年)
|
| JMZ-TK-2.5A |
25 |
20~30 |
33 |
42 |
3 |
100g |
10 |
| JMZ-TK-4A |
40 |
30~50 |
| JMZ-TK-5A |
50 |
40~60 |
| JMZ-TK-6A |
60 |
50~70 |
| JMZ-TK-7A |
70 |
60~80 |
| JMZ-TK-8A |
80 |
70~90 |