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標準自動化装置インターフェイス付きのFOSB・ウェーファーキャリア
FOSB・ウェーファーキャリアは,要求される清潔基準を維持しながら,ウェーファーが安全に輸送され保管されることを確保することによって,半導体サプライチェーンにおいて重要な役割を果たします.
FOSB ウェッファーキャリアを使用するときに注意すべきこと
FOSB (Front Opening Shipping Box) のウエファーキャリアを使用する際には,次の重要な側面に注意することが重要です.
クリーンルーム プロトコル
汚染を最小限に抑えるため,厳格なクリーンルーム手順に従い,スタッフが適切なクリーンルーム衣装を着て衛生習慣を遵守することを確認してください.
処理手順
機械的損傷 を 避ける ため に 正確 な 処理 方法 を 用い ます.常に 指定 さ れ た 領域 に FOSB を 扱う こと,そして ワッファー の 表面 に 触る こと を 避ける こと.
使用前 検査
FOSB を 定期的に 検査 し て 破損,汚染,または 磨損 の 兆候 を 確認 し て ください.ワッフル を 装着 する 前 に 清潔 で 完全 で ある こと を 確認 し て ください.
特徴:
使用後には,ドアとシェルを徹底的に清掃することが重要です.さらに,システムの最適なパフォーマンスを確保するために,ドアガシケートとウェーファークッションを交換することが必要です.
最後に,FOSBを再利用する前に,損傷や過度の磨きについて検査することが重要です.
半導体製造の過程で,FOSB (フロント・オープニング・シピング・ボックス) は,機械や工場間のウエファー転送に使用されます.これは,清潔さを維持し,損傷から保護するためです.
プレミアを保護するためにアンチ静的シールドバッグを使用することで,追加の予防措置が実施されます.
FOSBは,特にウエフのために設計され,クリーンルームグレードのステンレス鋼材で作られています.試験結果は,使用によって腐食と表面汚染が排除されていると結論づけています.
さらに,FOSBは厳格な基準に適合することを確保するために定期的に検査されなければならない.
| 応用 (FOSB・ウェーファーキャリアは主に) | |
| 半導体製造工場 ワッフル試験設備 研究開発ラボ |
300mm FOSB 技術サポートとサービス
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