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10 年
2インチのAlNの型板:
次元:Ф ± 50.8 mmの0.1 mm
基質:サファイア（磨かれる単一の側面）
厚さ:4 | 5 µm
オリエンテーション:C平面（0001）の± 1°
伝導のタイプ:Semi-Insulating
結晶の質:
（0002） < 350のarcsecのXRD FWHM。
（10-12） < 450のarcsecのXRD FWHM
端の除外ゾーン:< 2つのmm
表面の粗さ:RA < 5 nm （10 µm Xの10 µm）