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10 年
主要な変数索引:
1.装置:沈殿部屋、分子ポンプ施設管理、上部および下の電極、ガス道システム、電源および温度調整および装置の制御システム
2.沈殿部屋:Φ350XH350mm
3.上部の電極:多層の均一取入口、サイズはΦ150mmである
4.電極:回転式暖房、温度≤±3℃調節可能なの室温-600℃ sizeΦ 100mm
自動一致装置が装備されている5.RF力500W
6.マス フローのメートル制御仕事の空気取り入れ口
7.制御システムはタッチ画面+PLC制御を採用する