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主要な変数索引:
1.最終的な真空:≤6.6X10 ³ Pa
2.真空の獲得システムは分子ポンプを+機械ポンプ単位採用する
3. 30分の間連続的なポンプ、真空degree≤86X10の³ Pa
4.蒸発:抵抗のタイプ蒸発の電極2グループ、蒸発の電源:2セット、力2KW
5.の基質サポート:回転、暖房、水支承板
6.水晶のフィルム厚さの器械が装備されているフィルム厚さの測定は水調査を冷却した