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主要な変数索引:
1.最終的な真空:≤6.6X10 ³ Pa
2.真空の獲得システムは分子ポンプを+機械ポンプ単位採用する
3. 30分の間連続的なポンプ、真空の程度≤86X10の³ Pa
4.Eタイプ電子銃、最高の電圧8-10KVの力8KW
5. 400mmの基礎直径の部分は300℃の下でに、調節可能なターゲット基質の間隔、調節可能な基質の速度水冷と熱することができる
6.水晶のフィルム厚さの器械が装備されているフィルム厚さの測定は水調査を冷却した