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小型弁ポンプのためのマイクロ磁気垂直方向音声コイルモーター
モデル VCAH0070-0149-00A 音声コイルモーター 内蔵モーションシャフトと精密な線形ベアリング高度な硬さと耐磨性軽量,小容量,短い応答時間,高周波,高精度,高速加速,長寿命などで特徴付けられています. 完全に閉じられたシャフト音声コイルモーターと,完全に保護された輸出型音声コイルモーターを搭載し,優れたパフォーマンスを提供し,低騒音レベルで完全に閉じています.アルミニウム合金から作られ,耐磨性がある優れた耐久性と寿命を提供します.
線形内蔵シャフトボイスコイルモーター (VCM) は,主に以下の分野において,半導体産業において幅広い用途を有する.
リトグラフィーシステム:
リトグラフィーは半導体製造プロセスにおける重要な機器であり,シリコンウエファーに回路パターンを転送するために使用されます.リトグラフィ 処理 は 極めて 精密 で あっ た 反応 を 求め ます線形組み込み軸音声コイルモーターは,高加速性により,リトグラフィー機械のアライナインメントおよびスキャンシステムで使用するのに理想的です.正確な位置制御と無着用運動.
ワッフル処理:
ワッフルハンドリング中に,ワッフルは正確かつ迅速に移動する必要があります. 音声コイルモーターは,ハンドリング中にワッフルの高度な正確な位置付けを確保するために摩擦のない線形運動を提供します.重要なことです生産性と生産性を向上させるため
探査ステーション:
探査ステーションは,半導体試験中にその電気特性をテストするために,ワッファー上の特定の場所に探査機を正確に配置するために使用されます.音声コイルモーターの高精度と応答性は,それらを理想的に小さな動きと探査ステーションの正確な位置付けニーズに適しています.
梱包装置:
半導体包装プロセスでは,チップは正確にマウントされ,接続する必要があります. 音声コイルモーターは,マウントヘッドの正確な制御と迅速な応答において重要な役割を果たします.梱包プロセスの速度と精度を向上させる.
自動調整システム:
半導体製造におけるアライナメントプロセスは,各層の回路パターンが正しく積み重なっていることを確保するために,高い精度が必要です.音声コイルモーターの高精度位置付け特性により,自動調整システムで使用するのに理想的ですナノメートルの精度で調整できます
技術パラメータ:
| 製品モデル | ピークフォース (N) |
継続 的 な 力 25°C (北) |
合計 ストローク (mm) |
最大電圧 (V) |
バックEMF常数 (V/m/s) |
スターターの直径 (mm) | その 長さ (mm) |
軸末糸 (mm) |
| VCAH0253-0120-00A | 253 | 46.5 | 12 | 42.7 | 16 | 53.95 | 109 | M5 (内側) |
| VCAH0011-0070-00A | 11 | 3.6 | 7 | 26.2 | 4.9 | 31.5 | 38.9 | M3 (外側) |
| VCAH0013-0070-00A | 13 | 4.2 | 7 | 26.6 | 5.7 | 29 | 40.5 | M3 (外側) |
| VCAH0030-0100-00A | 30 | 7.2 | 10 | 24.9 | 5.2 | 37 | 47 | M3 (外側) |
| VCAH0040-0075-00A | 40 | 12.3 | 7.5 | 16.8 | 6.9 | 36 | 50 | ¥3 |
| VCAH0040-0240-00A | 40 | 6 | 24 | 44.5 | 8 | 41 | 83 | M3 (内側) |
| VCAH0065-0140-00A | 65 | 24.6 | 14 | 27.6 | 16 | 44 | 75 | M3 (内側) |
| VCAH0230-0110-00A | 230 | 100 | 11 | 34.2 | 37 | 71 | 117 | ¥10 |
| 音声コイルモーターの主な用途: |
| 1半導体産業:配線,切断,掘削,輸送システム,溶接,ロボット工学 |
|
2バルブ操作の分野:計測バルブタイプ,圧力試験システム,気圧バルブ化学 インジェクションシステム |
| 3マイクロ機械産業:フードシステム,マイクロドリリング,精密スタンプリング |
| 4振動システム 振動テーブル 振動プラットフォーム |
| 5医療分野:マイクロインジェクションシステム,呼吸器,検査機器 |
| 6航空技術:飛行制御システム パイロットフィードバックシステム |
| 7商業用分野:コンピュータ冷却ポンプ ミニチュアカメラ オート フォーカスシステム |
| 8自動化産業:レーザー機器,配送機,試験装置,繊維機械 |
技術指標と仕様をカスタマイズすることができます
満足のいく販売後サービス
認証
1旅行: 合計旅行を計算するために使用される実際の旅行について値力.
2移動方向:水平または垂直装置 90度
3負荷力:c逆方向で瞬時に力についてモーター噴水など
4負荷重量: 品質スライダーを含む移動の総品質部分
5移動型: 1.ポイントからポイントへの移動;2.規則の互換性 (例えばスキャン).
6速度曲線: 1.トラペゾイド速度曲線;2.三角速度曲線(3) 税金についてシヌス速度曲線.
ありがとうございました!