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ショートストローク 高応答 閉ループ セルボ XYZ 線形モジュール 動作 ステージ CNC 機械
VCM (音声コイルモーター) の円筒形設計は,基本部品を収納する管状構造を使用しています.コイルと永久磁石で構成されています.両方ともモーターの中枢軸に沿って並べたローリングは通常空っぽの円筒周りに回転し,永久磁石はローリングを取り巻く.半導体アプリケーションでは,ローリングは電磁石で回転し,ローリングは電磁石で回転し,ローリングは電磁石で回転する.半導体製造プロセスの厳格な要件を達成するために,VCM円筒型音声コイルモーターの正確性と応答性が重要です.準確な操作を可能にし,一貫した高品質の半導体装置の生産を保証します.
半導体アプリケーションにおける操作:
ワイファー処理:半導体の製造中に,ワイファーは様々なプロセスのために正確に配置する必要があります.VCMシリンダリングモーターは,正確なアライナメントを可能にするため,ウエファーハンドリングシステムに統合されています..
アライナメント:特定のプロセスのためにウエファを配置する必要があるとき,制御システムはVCMに信号を送信します.電流はコイルを通って流れ,磁場を生成します.この磁場 と 永久磁石 の 間 の 相互作用 は,コイル と 付着 し て いる 負荷 (ウーファー) を 求め られ た 位置 に 移動 する 力 を 生み出す.
フィードバック制御: 精度を確保するために,VCMの動きはフィードバックシステムによって監視されます.センサーはモーターの位置を測定し,この情報を制御システムに提供します.目標位置からの偏差が検出された場合コイルを通る電流を調整して位置を調整します
高精度: VCMシリンダ式モーターは直接駆動メカニズムを使用し,高精度をもたらします.ギアやベルトがないため,逆反応と機械的なクリアランスは最小限に抑えられます.正確な位置付けを可能にします.
| 製品モデル | ピークフォース | 継続 的 な 力 | 合計 ストローク | ピーク電流 | ピーク電圧 | 推力定数 | エンコーダー解像度 | 繰り返す精度 |
| VCAR0006-0050-00A | 6.2 | 2.6 | 5 | 1.7 | 15.7 | 3.57 | 0.1/0.5/1 | 10 月 5 日 |
| VCAR0013-0072-00A | 13 | 4.2 | 7.2 | 2.3 | 26.6 | 5.72 | 0.1/0.5/1 | 10 月 5 日 |
| VCAR0022-0098-00A | 22 | 6.5 | 9.8 | 3.8 | 24.7 | 5.8 | 0.1/0.5/1 | 10 月 5 日 |
| VCAR0033-0099-00A | 33 | 8 | 9.9 | 4.5 | 24.3 | 5.87 | 0.1/0.5/1 | 10 月 5 日 |
| VCAR0044-0249-00A | 44 | 11.7 | 24.9 | 4.95 | 44.9 | 8.88 | 0.1/0.5/1 | 10 月 5 日 |
| VCAR0070-0149-00A | 70 | 27.3 | 14.9 | 4 | 26.9 | 17.7 | 0.1/0.5/1 | 10 月 5 日 |
| VCAR0087-0062-00A | 87 | 21.67 | 6.2 | 6.85 | 34.5 | 12.7 | 0.1/0.5/1 | 10 月 5 日 |
| VCAR0262-0112-00A | 262 | 111 | 11.2 | 6.4 | 35.1 | 41 | 0.1/0.5/1 | 10 月 5 日 |
| VCAR0262-0249-00A | 262 | 112 | 24.9 | 10.1 | 28.2 | 26 | 0.1/0.5/1 | 10 月 5 日 |
| VCAR0436-0250-00A | 436 | 167 | 25 | 11.7 | 31.6 | 37.2 | 0.1/0.5/1 | 10 月 5 日 |
| VCAR1351-0310-00A | 1351 | 376.8 | 3 | 19.9 | 73.5 | 68 | 0.1/0.5/1 | 10 月 5 日 |
音声コイルモーター単軸モジュール 短ストック閉ループサーボ用 軽量アクチュエータ重量と高速応答 (ミリ秒で最大20G)基地は航空アルミニウム精密加工を採用シンプルで信頼性の高い制御,リバース装置を必要としません. メンテナンスなしで長い寿命. 精密な位置,速度,加速と推力制御が可能適切なエンコーダーとガイドレールで装備され,位置精度は0.1-5umに達します.推力要求は適切なドライバと制御装置で設定されている.. プラットフォーム構造は加工およびカスタマイズすることができます. 異なるアプリケーションに応じて,適切な線形ガイドメカニズムが構成されています: 高精度の線形ガイドレールのさまざまな種類.
技術指標と仕様をカスタマイズすることができます
幸せになってほしい!
