半導体における操作のための高加速VCM円筒型音声コイルモーター

VCM 円筒型ボイスコイルモーター ブラシレス小型リニアモーター 高精度・高加速度

製品説明:

VCM（ボイスコイルモーター）の円筒型設計は、その主要コンポーネントを収容する管状構造を特徴としています。コイルと永久磁石で構成されており、どちらもモーターの中心軸に沿って配置されています。コイルは通常、中空の円筒の周りに巻かれ、永久磁石はコイルを囲んでいます。

半導体用途では、VCM円筒型ボイスコイルモーターは、精密な位置決めと操作にその役割を果たします。そのプロセスは次のとおりです:

1. 構造概要:
コイル: コイルはVCMの重要なコンポーネントです。複数のワイヤの巻き線で構成されており、通常は円筒の中空コア内に配置されます。
永久磁石: 永久磁石はコイルを囲んでいます。その磁場は、コイルを流れる電流と相互作用し、運動に必要な力を生成します。
コア: 一部の設計では、磁場強度を高め、効率を向上させるために、コイル内に磁気コアが含まれています。
円筒ハウジング: 円筒ハウジングは、コイル、磁石、コアを所定の位置に保持し、構造的な完全性を提供します。

2. 半導体用途での動作:
ウェーハハンドリング: 半導体製造では、さまざまなプロセスでウェーハを正確に位置決めする必要があります。VCM円筒型モーターは、正確な位置合わせを実現するために、ウェーハハンドリングシステムに統合されています。
位置合わせ: ウェーハを特定のプロセス用に位置決めする必要がある場合、制御システムはVCMに信号を送信します。電流がコイルを流れ、磁場を生成します。この磁場と永久磁石との相互作用により、コイルとそれに接続された負荷（ウェーハ）を目的の位置に移動させる力が生じます。
フィードバック制御: 精度を確保するために、VCMの動きはフィードバックシステムによって監視されます。センサーはモーターの位置を測定し、この情報を制御システムに提供します。目標位置からのずれが検出された場合、制御システムはコイルを流れる電流を調整して位置を修正します。
高精度: VCM円筒型モーターは、その直接駆動機構により高精度を提供します。ギアやベルトがないため、バックラッシュや機械的な遊びが最小限に抑えられ、正確な位置決めが実現します。

半導体用途では、VCM円筒型ボイスコイルモーターの精度と応答性が、半導体製造プロセスの厳しい要件を満たすために不可欠です。これにより、ウェーハの正確な操作が可能になり、半導体デバイスの一貫した高品質な生産が保証されます。

特徴:

• 電圧制御モーター
• リニアアクチュエーターモーター
• リニア移動モーター
• DC電圧
• 小型
• 短ストローク
• 長寿命
• 軽量

技術的パラメータ:

アプリケーション:

このモーターは、主に医療、半導体、航空、
自動車などの分野で使用されており、バルブブレーキ、小型精密交換測定器、振動プラットフォーム、アクティブ振動低減システムなど、多くの側面が含まれます。
市場は主に医療、半導体、航空宇宙、自動化産業に焦点を当てています。

VCARシリーズアクチュエーターのアプリケーションには、バルブアクチュエーター、Z軸ピックアンドプレース、小型精密正変位計量ポンプ、振動子、アクティブ振動減衰システムが含まれます。市場には、医療、半導体、航空宇宙、自動車が含まれます。このリニアアクチュエーターモーターは電圧制御であり、DC電圧源を提供します。