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| ポイント | パラメータ | コメント |
|---|---|---|
| モジュールの種類 | オーバーヘッドトンネルまたは垂直キャビネット | カスタマイズ可能統合設計 |
| IR エミッタータイプ | 中波セラミックまたはクォーツパネル | 高い電力密度でカスタマイズできる |
| 効果的暖房時間 | 500mm,1000mm (標準) | 完全にカスタマイズ可能ライン速度に |
| パワー密度 | 80 kW/m2まで (調節可能) | ゾーン化制御可能 |
| 温度制御 | ピロメーターフィードバック付きのマルチゾーンPID | 移動サンプルの表面温度を制御する |
| コンベヤー統合 | ベルト・チェーン・オン・エッジ・システムと互換性 | カスタマイズ可能入口/出口ポート |
| 最大基板温度 | 400°Cまで | |
| 冷却 | インテグレテッド IR 後冷却ゾーン (オプション) |