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| VMC3020D | VMC4030D | VMC5040D | |
| テスト間隔(mm) X-Y Z | 300x200x200 | 400x300x200 | 500x400x200 |
| 重量(kg) | 250 | 350 | 500 |
| 積載量 | 15kg | ||
X-Y軸線の正確さ(μm) | ≤3+L/200 (Lはmm計量単位である) | ||
| Z軸の正確さ(μm) | ≤3+L/100 (Lはmm計量単位である) | ||
| 作動距離 | 82mm | ||
| 決断 | 0.1μm | ||
| 客観的な拡大 | 0.7X-4.5X | ||
| 合成の倍数 | 20~128X | ||
| 制御システム | CNCの閉ループ制御システム | ||
| 照明装置 | 面光源および伝達光源はLEDの調節可能な明るさである | ||
| コンピュータ | Windows 7 | ||
