記述
レーザーの干渉計は高精度、規準として軽い波長の適用による高く敏感な測定方法として確認され、上限の製造の範囲で広く利用されている。SJ6000レーザーの干渉計は米国の製造者からの高周波Helium-Neonレーザーの発電機、高精度の環境の補償モジュール、高精度レーザーの干渉の信号処理システム、高性能コンピュータの制御システムの主張する。レーザーの二重縦方向モードおよび幾何学的な変数干渉光学道の設計の熱頻度安定技術との適用によって、SJ6000は強力なanti-interference性能があるすぐに長期安定した、高精度の（0.05ppm）レーザーを出力できる（約6分）。異なったプリズム モジュールを使うと、それは直線性、角度、直線性、平坦およびperpendicularityを測定できるさらに動特性を分析できる。SJ6000に多くの利点が、高精度のような、高速、高リゾリューション、長期ある。
機能
1. 測定の高精度:決断はレーザーのインターフェロメトリーの技術に基づいてnanoscaleまである;高精度の環境の補償の単位によって、周囲温度からの測定の結果への影響、圧力、湿気および物質的な温度は除去される;それはレーザーの熱頻度安定制御システムの使用によってレーザーの長期頻度安定性を保障できる;ホストからinterferoscopeを分けることの設計は干渉の光学道の安定性を保障するinterferoscopeの熱ゆがみを避ける。
2。それは直線性、角度、直線性、perpendicularityおよび他の幾何学的な変数を測定できる;それは線形位置の正確さを測定、繰り返されてできCNCの工作機械のためのガイド・レールの正確さを、測定機械および他の精密動き装置を調整するために置く;それはガイド・レールのピッチ角、振動角度、perpendicularityおよび直線性を測定できるさらに工作機械の回転式軸線に目盛りを付けることができる。
3.ユーザーによる補償の設定に従って、システムは自動的に工作機械の口径測定のための間違いの補償のテーブルを発生させる。
4。動的測定（変位時間のカーブ、速度時間のカーブ、加速時間のカーブ）の機能を使うと、広さの測定および周波数分析のそれは工作機械の振動試験、球ねじの動特性、ドライブの応答特性、ガイド・レールの動特性を等分析できる。
5.作り付けの国内及び国際規格、GBのような、ISO、BS、ANSI、DIN、JIS等。システムは関連した標準に従って分析し、データを処理したり、最終的に対応を含むテスト レポートを切り分ける図表およびデータを発生させる。
6。自動的に環境の温度、物質的な温度、環境の湿気および大気圧の変数を得ることができる。自動的にシステムによって環境の補償を、または手で置くことができる。
7。測定記録のための中心にされたデータベース管理を使うと、ユーザーはオブジェクト・タイプ、テストの施設、製造数、検査官、堤出された施設、機器番号、点検日付および有効な日付に従って測定記録をただし、管理できる;AutoCADの（任意）ファイルは、Excel言い表わすためにのデータを輸出できる。
8.取付けること容易:基本重量15kg、便利および携帯用。 |
変数
| システム・パラメータ |
環境センサー
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1. 測定方法:単調
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1. 大気温度検出器:±0.1℃ （0-40）の℃、決断:0.01℃
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2. レーザーの頻度正確さ:0.05ppm
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2. 物質的な温度検出器:±0.1℃ （0-40）の℃、決断:0.01℃
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3. 動的捕獲率:50kHz
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3. 大気湿気センサー:±5% （0-95%）
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4. ウォームアップ タイム:約6分
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4. 大気圧センサー:±0.1kPa （65~115）のkPa
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5. 実用温度:（0-40の） ℃
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6. 環境の温度:（0-40の） ℃、湿気:0-95%
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7. 保管温度:-20℃-70℃
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| 線形測定 |
角度の測定
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1. 測定範囲:（0-80） m
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1. 軸範囲:（0-15） m
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2. 測定の正確さ:0.5ppm （0-40） ℃
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2. 測定範囲:±10°
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3. 測定の決断:1nm
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3. 正確さ:± （0.02%R+0.1+0.24M）の″ （Rは価値、単位を示している:″;Mは長さm）の測定される
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4. 最高の測定の速度:4m/s
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4. 測定の決断:0.1の″
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| 平坦の測定: |
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1. 軸範囲:（0-15） m
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2. 平坦の測定範囲:±1.5 mm
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3. 正確さ:± （0.2%R+0.02M2）のμm （Rはμmの価値を示している;Mは長さm）の測定される
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4. 基質のサイズ:調節可能な180mm調節可能な360mm
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5. 測定の決断:0.1μm
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| 直線性の測定: |
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項目
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軸線の範囲
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測定範囲
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正確さ
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決断
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短い直線性
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（0.1-4の） m
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±3.0mm
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± （0.5+0.25%R+0.15M2）のμm
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0.01μm
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長い直線性
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（1-20） m
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±3.0mm
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± （5.0+2.5%R+0.015M2）のμm
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0.01μm
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注:Rはμmの価値を示している;Mは長さメートルの測定される
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| Perpendicularityの測定 |
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項目
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軸線の範囲
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測定範囲
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正確さ
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決断
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短い直線性
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（0.1-3の） m
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±3.0mm
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± （2.5+0.25%R+0.8M） μm/m
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0.01μm
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長い直線性
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（1-15） m
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±3.0mm
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± （2.5+2.5%R+0.08M） μm/m
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0.01μm
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注:Rはμmの価値を示している;Mは長さメートルの測定される
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