多段階超音波浄化
- 高周波超音波カビテーション: 200kHzの超音波を利用して表面に爆発する微小泡を作り出し 0.2マイクロンの粒子を放出しますこの非接触方法により,複雑な幾何学の徹底的な清掃が保証されます.深い穴や狭い溝を含む機械的な損傷なし
- 9 段階のプロセス: 洗浄前,超音波浄化,多重洗浄,消化,IPA脱水,熱気乾燥のための専用タンクが特徴です.各段階は,粒子除去などの特定のタスクに最適化されています.有機残留物の除去表面活性化
インテグレテッド・パシベーション・システム
- 化学的消化: 100%濃度の不?? 鋼消化溶液 (例えば,窒素酸ベース) を用いて,316L不?? 鋼表面に密集した保護性酸化層を形成する.この層は500mV以上の材料の抗腐食能力を増加することによって腐食耐性を向上させます.
- 精度制御: 消化プロセスは室温で30~60分間行われ,一貫性を確保するために酸化減少ポテンシャル (ORP) のリアルタイムモニタリングを行います.

テクニカルパラメータ

超音波電力: 500W (調節可能),均等なエネルギー分配のために20~25Wのピエゾ電圧変換器 (PZT) によってサポートされます.
温度制御: 清掃と消化段階では20°Cから80°C,精度は±1°Cです.
物質的相容性: 湿った部品 (タンク,ノズル,チューブ) すべては,高純度アプリケーションのためのSEMI F20規格に準拠するSUS316Lステンレス鋼またはPTFEで製造されています.
サイズ: 直径300mmまでのバルブサイズに対応するカスタマイズ可能.典型的な構成は2000×1000×1800mm (L×W×H),重量は~800kgです.
サイクルの時間: 部品の複雑さに応じて,各パッチあたり15〜30分.