半導体シリコンウエファーのための全自動超音波洗浄機
全プロセスの追跡可能性,清潔性 IATF 16949 規格を満たす
- 欠陥のある製品がラインを離れるのを防ぐための閉ループオンライン検査
- マシンビジョン サンプリング 検査: 100 枚に 1 枚が自動的に検査対象に選択されます.フレームの表面は 2 メガピクセル産業カメラでスキャンされます.AI アルゴリズムが使用され,粒子残留 ≥5μm (誤り負の割合 < 0) を識別する..01%).
- 塩噴霧試験統合: 掃除されたフレームは,次の塩噴霧試験機械に直接接続できます.実際の試験では,電圧塗装層の塩噴霧抵抗時間が20%増加 (48時間から57時間まで延長) することが示されています..6時間)
- 精密な表面処理を保護するための反静的設計
- イオン化空気のバーの完全なカバー: Eight sets of anti-static ionizing air bars (ionization voltage ±5kV) are installed in the drying section and at the discharge port to neutralize the static electricity on the frame surface in real-time (residual voltage < 100V)空気中の塵粒子の吸収を防止する.
- クリーンルームレベルの保護: 設備全体には,1万級の清潔度レベルを持つ負圧フードが装備されています (100級のラミナリーフローフードはオプションです).浄化過程が外部汚染から無くなることを確保し,光学コーティングの前に超清潔な浄化要件を満たす.
- 事故 のない ワークショップ を 作り出す 安全 保護 システム
- トリプル・インターロック・プロテクション: ドアを開けると,超音波電源は自動的に切断され,スプレーポンプは停止し,乾燥熱管は電源が切断され,応答時間は<0です.2秒間.
- 流出監視システム: 液体レベルセンサーと伝導性探査機がタンクの底部に組み込まれています. 清掃液体の流出が検出された場合,堤防の排水ポンプが3秒以内に起動します音声と視覚的なアラームを伴います.
- 7×24時間対応: 全国の5つの主要サービスセンター (パール川デルタ / ヤンツェ川デルタ / 北京-天津-河北 / 成都-重慶 / 武漢) は,脆弱な部品 (トランスデューサー,噴霧用ノズル4時間以内に現場に到着できます.
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