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高精度なマス フローのメートル、良質のガスの流れメートル0 | 25slpm
記述
MF4001マス フロー センサーはShelok専有MEMSの流れのセンサーおよびパッケージの技術を使用して製造される。センサーは0~30 sccmの0~1000までsccmからの低流速率の範囲の塗布のために特に設計されている。各モデルのための最大流率は特に設計されていたパッケージ、またスマートなelectonicsによって最適の感受性が達成されるように製造される。
包装のエンクロージャはchmically不活性および熱的に安定したポリカーボネート材料のなされる。圧力評価上の最高はShelok独特なMEMSセンサーの破片の構造、特別な実装技術および険しいセンサー ハウジングから寄与される5棒である(73のpsi)。
指定
高精度なマス フローのメートル、良質のガスの流れメートル0 | 25slpm | ||
モデル | 価値 | 単位 |
流れの範囲 | 0~30、100つ、200、500、1000、または顧客は指定した | sccm |
Turn-downの比率 | >100:1 | |
正確さ1 | ± (1.5+0.5 FS) | % |
繰り返しの能力 | ±0.25 | 読書%の |
ブランクの転位 | ±30 | mV |
出力転位 | ±0.2 | %/℃ |
応答時間2 | 65 (デフォルト、4、8、16、33、選択可能な131 | 氏 |
出力 | 線形:I2C、アナログ0.5~4.5VDC | |
圧力降下3 | <>350 | Pa |
圧力範囲 | -0.08 | +0.5 | MPa |
電源4 | 8~24ボルトDC、20mA | |
パワー消費量 | <>120 | MW |
働く温度 | -10 | +55 | ℃ |
ピン | 5 Pin、2.54mmの中心、0.635 mmの正方形 | |
口径測定5 | 空気@ 20℃の101.325 kPa | |
包装材料 | ポリカーボネート | |
次元 | 62×52×12.8 | mm3 |
重量 | 15 | g |
保管温度 | -20 | +65 | ℃ |
湿気 | <>95% RH (アイシングか凝縮無し |
注:
1. ± (フル・スケール1.5% Reading+0.5%)を表示する。正確な流れの測定を得ることを、1分力でセンサーのウォーミングアップを許可しなさい。
2。応答時間はADCのサンプリング レートおよびデータ プロセス アルゴリズムによって定められる。デフォルトの応答時間は65氏である。それはRS232コミュニケーションによってプログラムすることができる。
3。最高の圧力降下は流動度の1000のsccmで測定される。500台のsccmの流れセンサーのために、圧力降下はより小さい。30のために、100台そして200台のsccmの流れセンサーは、流れの管より小さく、最高の圧力降下はある <20 Pa="" at="" flow="" rate="" 200="" sccm="">
4。1つのDC電源必要である。必須の最低の出力電流は50mAである。センサーは実際に作動中それよりより少しを消費する。
5.利用できる他のガスの口径測定要望に応じて。
詳しいイメージ
機械次元
センサーの選択
特徴
!0~1000sccmまでの0~30 sccmからの低質量の流れの範囲
!±1.5%の顕著な正確さ
!速い応答(選択可能な4氏)
!R圧力評価5まで棒(73のpsi)
!アナログおよび/またはデジタル ユーザ・インタフェース
!容易な取付け
適用
MF4001は器械使用(例えばGCの質量分析)、漏水検知、プロセス制御の、ガスの流れの度量衡学、また医学の適用をinculding広い応用範囲で使用することができる。MF4001は8~24V DCの電源を要求し、アナログおよび/またはデジタル ユーザ・インタフェースを提供する。アナログ出力は0.5から0からのフル・スケールに流動度と対応する4.5V DCへの一直線に並べられる。デジタル出力はRS232/12Cによってある。RS232およびI2Cの通信プロトコルはこのマニュアルで見つけることができる。
口径測定は20℃および101.325kPa圧力評価の窒素と一般に行われる。それは要求に他のガスそして条件とそれにもかかわらず目盛りを付けることができる。
関連製品
FAQ
Q:どの位私を答えるか。
:私達はできるだけ早く12時間以内に連絡する
Q:私はあるサンプルを得てもいいか。
:はい、サンプル順序は質の点検および市場テストのために利用できる。しかし明白な費用を支払わなければならない。
Q:いつまでにあなたの生産を整理できるか。
:あなたのプロダクト確認を得、前払いを受け取って、生産はすぐに始まる。
Q:受渡し時間は何であるか。
:通常小さい順序のための約3-5仕事日および大きい順序のための10-15日かかる。
Q:いかにあなたの質を制御するか。
:(原物、生産および完成品)の3つの点検ステップ+よい保証サービス(人間の損傷の要因なしで新しいものを変えること1年自由)。
Q:どんな証明書があるか。
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