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多様なガスの流れセンサーMEMSのマス フローのメートルの記述
MF4000シリーズ マス フローのメートルが適用のために多様な流れの測定設計されている。標準的な流路は直径の3つのmmそして8つのmm、それぞれである。機械アダプターの容易な変更とのプラスチック仕上げは安価および異なった環境で適用を可能にする。メートルはプロセス ガス制御、環境のサンプラーおよび他の多くの産業適用に使用することができる。
多様なガスの流れセンサーMEMSのマス フローのメートルの詳しいイメージ




多様なガスの流れセンサーMEMSのマス フローのメートルの特徴
| 、集められた流れの記録との3つのmmそして8つのmmの固定流路の低いガスの流れのために設計されている |
| 多様なアセンブリの準備ができたコンパクト デザイン |
| 重大な適用の解決のための速い応答時間 |
| 多様なプロセス ガス モニターおよび制御のために優秀 |
| 異なった適用の容易な取付けのための交換可能な機械コネクター |
多様なガスの流れセンサーMEMSのマス フローのメートルの指定
| 変数 | MF4003 | MF4008 | 単位 | |
| DN | 3 | 8 | mm | |
| 流量の範囲 | 0 | 2、3、4、5 0 | 10、20、30、40、50 | SLPM | ||
| Turn-down | 100:1 | |||
| 正確さ | ± (1.5 + 0.2 FS) | % | ||
| 反復性 | 0.25 | % | ||
| ブランクの転位 | ± 30 | mV | ||
| 出力転位 | ± 0.12 | /ºC %の | ||
| 応答時間 | 10 (デフォルト、10、20、50、200、500、選択可能な1000) | msec | ||
| 電源 | 8 | 24 Vdc、50 mA | |||
| 出力 | 線形:アナログ0.5 | 4.5 Vdc;RS232、RS485 | |||
| 表示 | 4 - ディジット、7 -区分LED;2状態LED | |||
| 単位 | 1nstant流量:SLPM;流れの蓄積:SL | |||
| 表示決断 | 0.001、0.01、0.1選択可能な0.01、選択可能な0.1 | SLPM | ||
| 圧力降下 | 100 600 | Pa | ||
| 最高。圧力 | 0.5 | MPa | ||
| 働くTeperature | -210 | +655 | ºC | ||
| 貯蔵Teperature | ||||
| 湿気 | < 95=""> | |||
| 機械関係 | BSPT 1/4 (R 1/4)、4つのmm/6つのmm/8つのmm 1 -接触BSPT 1/4 (R 1/4) | |||
| キーボード | 3つのキー | |||
| ピン | 5つのピン、NS-TECHのCD R-5 | |||
| 口径測定** | 空気@ 20 ºC、101.325 kPa | |||
| 重量 | 55 (とBSPT 1/4 (R 1/4))、74 (1接触4つのmm/8つのmmのと)、71 (6つのmmの1接触と) | |||
口径測定**空気@ 20のºC、101.325のkPaNotes:*上記の変数は20o Cおよび101.325kPaで適当である。
**他のガスの口径測定のために…、siargoに連絡しなさい。
多様なガスの流れセンサーMEMSのマス フローのメートルの順序ガイド
