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記述MF4000のガスMEMS Thermaのマス フローのメートルの気流のメートル
MF4000シリーズ マス フローのメートルは大きくない管の直径のガスの流れの測定の適用のためにより8mmの設計されている。プロダクトは製品構成によって0-30SLPMまで0-0.5 SLPMからのきれいなガスを、測定するために加えることができる。カスタム化は大量の適用のためにまた利用できる。
詳しいイメージMF4000のガスMEMS Thermaのマス フローのメートルの気流のメートル
特徴MF4000のガスMEMS Thermaのマス フローのメートルの気流のメートル
、集められた流れの記録との3つのmmそして8つのmmの固定流路の低いガスの流れのために設計されている |
多様なアセンブリの準備ができたコンパクト デザイン |
重大な適用の解決のための速い応答時間 |
多様なプロセス ガス モニターおよび制御のために優秀 |
異なった適用の容易な取付けのための交換可能な機械コネクター |
Specificagtion MF4000のガスMEMS Thermaのマス フローのメートルの気流のメートル
変数 | MF4003 | MF4008 | 単位 | |
DN | 3 | 8 | mm | |
流量の範囲 | 0 | 2、3、4、5 0 | 10、20、30、40、50 | SLPM | ||
Turn-down | 100:1 | |||
正確さ | ± (1.5 + 0.2 FS) | % | ||
反復性 | 0.25 | % | ||
ブランクの転位 | ± 30 | mV | ||
出力転位 | ± 0.12 | /ºC %の | ||
応答時間 | 10 (デフォルト、10、20、50、200、500、選択可能な1000) | msec | ||
電源 | 8 | 24 Vdc、50 mA | |||
出力 | 線形:アナログ0.5 | 4.5 Vdc;RS232、RS485 | |||
表示 | 4 - ディジット、7 -区分LED;2状態LED | |||
単位 | 1nstant流量:SLPM;流れの蓄積:SL | |||
表示決断 | 0.001、0.01、0.1選択可能な0.01、選択可能な0.1 | SLPM | ||
圧力降下 | 100 600 | Pa | ||
最高。圧力 | 0.5 | MPa | ||
働くTeperature | -210 | +655 | ºC | ||
貯蔵Teperature | ||||
湿気 | < 95=""> | |||
機械関係 | BSPT 1/4 (R 1/4)、4つのmm/6つのmm/8つのmm 1 -接触BSPT 1/4 (R 1/4) | |||
キーボード | 3つのキー | |||
ピン | 5つのピン、NS-TECHのCD R-5 | |||
口径測定** | 空気@ 20 ºC、101.325 kPa | |||
重量 | 55 (とBSPT 1/4 (R 1/4))、74 (1接触4つのmm/8つのmmのと)、71 (6つのmmの1接触と) |
口径測定**空気@ 20のºC、101.325のkPaNotes:*上記の変数は20o Cおよび101.325kPaで適当である。
**他のガスの口径測定のために…、siargoに連絡しなさい。
順序のGaide MF4000のガスMEMS Thermaのマス フローのメートルの気流のメートル