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H2水素の流れメートルMF5000シリーズ ガスの流れメートル
MF5000シリーズ マス フローのメートルは小さい管の流れのモニタリング及び制御のために特に設計されている。シリーズは3つのmm、19ない以上のmm小さい管の直径のガスの流れを測定できる。MEMSセンサー パッケージの自己流れの調節の特徴によって、メートルはこの適用規模の従来のバイパス熱マス フローのメートルと比較される極端に低い圧力損失を特色にする。メートルの正確さは要求によって一般に± (1.5+0.2FS) %またはよりよくである。メートルは60 Cおよび圧力1.5までMPaに-20の環境で働くことができる。適用は半導体のガスのプロセス モニタリングおよび制御、病院の酸素のガスの監視、等含んでいる。
製品の機能: H2水素の流れメートルMF5000シリーズ ガスの流れメートル
- MEMSの破片の加工技術およびLSIの生産技術および材料の成長の技術を使用して、センサーのサイズは流れメートルの感受性を非常に改善するミクロンのレベルに減る。
- 多数センサーは流量計の範囲の比率(範囲)を非常に改善する単一の破片で、統合される。
- センサーのゼロ ポイント安定性は従来の熱多くの流量計と比較されて非常に改善される。
- 二次器械のマイクロコンピューターの理性的な技術と結合されて、流量計によい反復性があり、測定は正確、信頼できる。
- 簡単だった構造は科学技術の進歩によって約非常に減らす従来の機械器械によって比較された流量計の圧力損失そしてエネルギー消費を持って来た。
- LCD表示「即時の流れ」および「累積流れ」、明確でおよび直観的で、容易な読書。
- プロダクトはより高いanti-interference機能の電磁適合性デザイン技術を統合する。
- 流れメートルは上部のコンピュータ ネットワークを持つ中心にされた管理を実現できるRS485通信モジュールが装備されている。
- 4 | 20mA標準現在の信号の出力は任意である。
H2水素の流れメートルMF5000シリーズ ガスの流れメートル
正確さの+/- (1.5 + 0.2 FS) %
測定範囲:0.01~65m/SEC
測定の管の直径1~19のmm
作動の周囲温度:-20~65
表示即時の流動度;累積流れ
出力モード4~20mA;RS485;脈拍
口径測定の状態20oC;101.325 kPa。