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チタニウム ターゲット99.999%高純度の放出させるターゲット実験元素チタニウム
カスタマイズされたチタニウム ターゲット チタニウムの円形ターゲット
| プロダクト | 純粋なチタニウム（チタニウム）ターゲット） |
| 純度 | 2N8-4N |
| 密度 | 4.51g/cm3 |
| コーティングの支配的な色 | 赤く/黒い金の青/ローズ |
| 形 | 円柱 |
| 概要のサイズ | 直径60/65/95/100*30/32/40/45mm |
通常私達は商品をこのような質の点検報告に与える、
化学成分および物理的性質を示すかどれが
チタニウムの正方形ターゲット、チタニウムの円形ターゲット、チタニウムの特別な形ターゲット
純度はターゲット パフォーマンス インジケータの1つである。
目標資料の純度はフィルムの性能に対するすばらしい効果をもたらす。
ターゲットのための主要な性能要件:
純度
ターゲットの純度はターゲットの純度がフィルムの性能に非常に影響を与えるのでターゲットの主要なパフォーマンス インジケータの1つである。但し、実際の適用に、目標資料の純度のための条件は同じではない。例えば、マイクロエレクトロニクスの急速な開発とシリコンの薄片のサイズが6"から、12"への8"、ワイヤーで縛る幅拡大された企業は0.25 um、0.18 um、および0.13に0.5からum um減った。以前は、ターゲット純度は99.995%だった。
不純物内容
沈殿させたフィルムの主要な源はターゲット固体および気孔の酸素そして湿気である。さまざまな適用のためのターゲットに異なった不純物レベルのための異なった条件がある。例えば、半導体工業で使用される純粋なアルミニウムおよびアルミ合金のターゲットにアルカリ金属の内容および放射性元素の内容のための特別な条件がある。
密度
ターゲット固体の気孔を減らし、放出させたフィルムの性能を改善するため、ターゲットは普通あるより密に必要がある。ターゲット密度は放出させる率またフィルムの電気および光学的性質にだけでなく、影響を与える。より高いターゲット密度、よりよいフィルムの性能。さらに、ターゲット密度および強度が上がるとき、ターゲットは放出させることの間に熱圧力に抗できる。密度はターゲット パフォーマンス インジケータの1つである。
結晶粒度およびサイズ分布
通常ターゲットは多結晶性であり、粒度はミリメートルにマイクロメートルの順序であるかもしれない。同じターゲットの場合には、きめの細かいターゲットの放出させる率は小粒子のサイズ（均一配分）ターゲットの沈殿を放出させる間、きめの粗いターゲットの放出させる率に、均一厚さの配分（ユニフォーム）があるより速い。配分。