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決断0.5umの次元の測定の視野の測定機械のための線形スケールのエンコーダー
線形エンコーダー/スケールMSAは投影検査器、視野の測定機械、測定顕微鏡、等のような精密機械と、広く利用された変位センサーです。
MSAの設置サイズ:
線形エンコーダー、線形スケールの適用:
技術仕様:
タイプ | MSA5 | MSA1 | MSA0.5 | MSA0.2 | MSA0.1 |
決断 | 5um | 1um | 0.5um | 0.2um | 0.1um |
Max.Workingの速度 | 60m/min | 20m/min | 10m/分 | ||
耳障りなピッチ | 20 um | 10um | |||
出力信号 | TTL、RS422 | ~1Vpp | |||
火格子を付ける測定システム | 伝達赤外線光学measuriementシステム、赤外線の波長:880um | ||||
測定の長さ | 25-600mm | ||||
スキャン単位の圧延システム | 90°fiveボール ベアリングの圧延システム | ||||
定常電圧 | 5V±5%DC | ||||
労働環境 | 温度:- 10~45℃;Humidity≤90% | ||||
正確さ | 50≤ML≤500mmの標準:±5umの精密:±3um | ||||
510≤ML≤600mmの標準:±8umの精密:±5um |