ASM/LPE型エピタキシ反応室 (大気圧) 溶接し,不透明クォーツと電気溶融クォーツで磨く エピタキシークォーツ反応室は,半導体製造において,超純粋な単結材料層 (エピタキシー) をウエファーに生長させるために使用される特殊で透明なクォーツ容器である.電気自動車やAIなどの高性能装置のための感........
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