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化学蒸気堆積塗料炉 TiCL4,AICL3の前駆物およびプロセスガス
CVDコーティングマシーン (CVD Coating Machine) は,化学堆積装置を用いて薄い材料層を基板表面に堆積する最先端の真空コーティング技術である.このタイプの表面塗装装置は,塗装速度の幅が広い.圧力の安定性 -±2mbar. 暖房システムは電気暖房で,適正なコーティング結果のために安定した基質温度を保証する. このプロセス全体がPLCシステムによって制御され,正確なコーティング厚さと均一性を保証します. このCVDコーティングマシンは,様々なCVDコーティングアプリケーションに理想的です.
ALD と CVD プロセスの違い:
ALD化学蒸気堆積技術で,自己制限表面反応に基づいています
一度に一つの原子層を埋めるフィルム
低温が必要とする
半導体と集積回路,薄膜太陽電池,光学部品のための高性能コーティングの生産に役立ちます.
心血管疾患材料加工技術では,加熱された基板上でガス相前体による化学反応によって薄膜が形成される.
厚さの範囲が広いデポジットフィルム
高温が必要になる
電子機器の薄膜やコーティングの製造や レンズや鏡のコーティングの堆積などに役立ちますそして様々な材料の合成.
| 装備モデル | CVD430〜1250 | CVD430-1600 | CVD530〜1250 | CVD530-1600 | CVD630〜1250 | CVD630-1600 |
| 効果的スペース (mm) | Φ400×1250 | Φ400X1600 | Φ500×1250 | Φ500×1600 | Φ600×1200 | Φ600×1600 |
| 熱力 (KW) | 39 | 48 | 45 | 55 | 65 | 80 |
| 熱帯の量 | 4 | 5 | 4 | 5 | 4 | 5 |
| 設備の足跡 (mm) | 6000*5800*4800 | 6000*5800*5100 | 6500*6000*4800 | 6500*6000*5100 | 7200*6200*4800 | 7200*6200*5100 |
| プロセス温度(°C) | 700〜1050 | |||||
| 前駆物及びプロセスガス | TiCL4AICL3CH3CN,H2N2アールCHCOCO2HCI,H2S | |||||
| 塗装の種類 | TiC,TiN,TiCN,a-AL2オー3K-AI2オー3 | |||||
| オプション機器 |
1ガス中和機 (排気装置を含む) をオフにする. 22段目のガス配送装置 (パイプラインを含む) 3ガソリンスタンド (パイプラインを含む) |
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• デザイン 基準
設備は,品質技術監督局の圧力容器要件に従って設計され,圧力試験を経て合格し,出荷されます.電気設計と建設は,国家基準を満たしています.
• 設置前試験と受付前試験
すべてのパイプライン,真空パイプライン,プロセスガスパイプライン,冷却水パイプライン,圧縮空気パイプラインなど設置後には予備試験を行うことができる.設備以外のパイプラインは顧客が提供します. 設置にはすべてのケーブルの接続も含まれます.電源キャビネットを接続するメインケーブルは顧客が提供します設置後,私たちは真空と正圧の漏れを検査し,機械的および電気的機能テストを行います.
• 解体 と 輸送
装置はいくつかの大きな部品に分解され,標準化された方法で梱包され,輸送車に積まれます.
• 顧客サイトの設置と運用
レデルのアフターセールスエンジニアは 20日以内に チームを指揮し 稼働させ 試製品燃焼等を完了します顧客は適切な準備をし,必要な道具を提供する必要があります.設置スタッフのサポート (機械スタッフ1名と電気スタッフ1名とすることが推奨されます).
• 最終 的 承認
装置の設置と投入後,技術契約の要件に従って,設備を最終的に承認することができる.
• 訓練
販売後技術者は 運用,保守,トラブルシューティングなどを含む 組織的で完全な現場訓練を 提供します
• 技術データ提供
安全な運用と設備の保守を保証するために,次の技術データは顧客に提供されます.
1設備の設置図
2ユーザーマニュアル
3部品リスト
4電気図
5部品の説明書
よくある質問
Q: 工場ですか? それとも貿易会社ですか?
A:私たちは中国のトップの高温真空炉メーカーで,10年以上の経験があります.
Q: オーダーメイドまたはOEMサービスがありますか?
A:はい,私たちは強力なR&Dチームとハイテク機器を持っています. だから,私たちは通常のモデルだけでなく,私たちのクライアントのリプーリメントとしてカスタマイズ可能なオーブンを供給することができます.
Q:あなたの利点は?
A: その通り
迅速な回答です
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安定したサプライチェーン
間に合う配達
優れたアフターサービス
