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7 年
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シリコンカービッドCVD塗装炉,グラフィット受容器またはエッチリング用
この装置は,特に半導体受容器とエッチリングのために,炭素ベースの/セラミックベースの材料の表面にシリコンカービッドを堆積するために使用されます.
高純度グラフィットディスクで 円の溝で ウェファーの基板を固定します 炉に入れた後水晶膜の層が基板の表面に成長します表面の表面の表面に
リトグラフィやイオン植入などのウェッファープロセスはすべて表頭層で行われます.明らかに,グラフィット製の表軸基は,半導体プロセスにおける超高い清潔性要件を満たすことはできません..
密集したシリコンカービッドフィルムを 基に敷き詰めるために 化学蒸気堆積を使用する必要があります
| 最大作業温度 ((°C) | 1500°C |
| 温度均一性 (°C) | ≤7 |
| 究極の真空 (パ) | 10 |
| プロセスガス | MTS,Ar,H2 |
• デザイン 基準
設備は,品質技術監督局の圧力容器要件に従って設計され,圧力試験を経て合格し,出荷されます.電気設計と建設は,国家基準を満たしています.
• 設置前試験と受付前試験
すべてのパイプライン,真空パイプライン,プロセスガスパイプライン,冷却水パイプライン,圧縮空気パイプラインなど設置後には予備試験を行うことができる.設備以外のパイプラインは顧客が提供します. 設置にはすべてのケーブルの接続も含まれます.電源キャビネットを接続するメインケーブルは顧客が提供します設置後,真空と正圧の漏れを検査し,機械的および電気的機能テストを行います.
• 解体 と 輸送
装置はいくつかの大きな部品に分解され,標準化された方法で梱包され,輸送車に積載されます.
• 顧客サイトの設置と運用
レデルのアフターセールスエンジニアは 20日以内に チームを指揮し 稼働させ 試製品燃焼等を完了します顧客は適切な準備をし,必要な道具を提供する必要があります.設置スタッフの支援 (機械スタッフ1名と電気スタッフ1名とすることが推奨されます).
• 最終 的 承認
装置の設置と投入後,技術契約の要件に従って,設備を最終的に承認することができる.
• 訓練
販売後技術者は 運用,保守,トラブルシューティングなどを含む 組織的で完全な現場訓練を 提供します
• 技術データ提供
安全な運用と設備の保守を保証するために,次の技術データは顧客に提供されます.
1設備の設置図
2ユーザーマニュアル
3部品リスト
4電気図
5部品の説明書