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MF4001シリーズ ガスのマス フローのメートルはさまざまなタイプの小さい流れのガスを測定するために特に設計され、プロセス制御。この一連の流れメートルはマイクロ エレクトロメカニカル・システム(M EM Sを使用するか。さまざまなタイプのきれいなガス ボディの生産のための流れセンサーの破片。独特な実装技術はそれがさまざまな管の直径、安価、容易な取付けで使用されることを可能にしなかったり容積測定または差動圧力と従来の流れメートルを取り替えることができる温度および圧力補償を必要とする。
センサーの破片は温度圧力補償のための必要性を除去する熱にマス フローのメーターで計ることを使用し流れを保障する
ゲージの高精度の測定
流れメートルの範囲の比率を非常に改善する単一の破片のMulti-sensorの統合、
ゼロで安定性が高い
フル・スケールの安定性が高い
フル・スケールの高精度で、優秀な反復性
低い電力の消費、低圧の損失
速い応答時間